透明石英玻璃氣泡、氣線試驗(yàn)方法

筑神-建筑下載: http://www.zhushen.com.cn QSG3 透明石英玻璃坩堝 本標(biāo)準(zhǔn)適用于半導(dǎo)體工業(yè)拉制單晶用的高純透明石英玻璃坩堝。 本坩堝采用天然石英熔制成坯體，并在其內(nèi)表面涂一層高純?nèi)嗽焓⒉Ａ印? 一、技術(shù)要求 1．物理、化學(xué)性能指標(biāo) （1）化學(xué)成分 a．內(nèi)涂層化學(xué)成分 鋁、鈣、鎂、鈦、銅、鐵、鉆，鎳、錳、硼、鉀、鈉、理十三個(gè)雜質(zhì)元素的總含 量不得大于 0．001％。 其中：鋁≤5×l0[-4]％； 銅≤0．l×l0[-4]％； 鐵≤0．5×l0[-4]％； 硼≤0．1×l0[-4]％； 鉀≤1×l0[-4]％； 鈉≤1×10[-4]％。 b．坩堝坯體化學(xué)成分 鋁、鈣、鎂、鈦、銅、鐵、鈷、鎳、錳、硼、鉀、鈉、鋰十三個(gè)雜質(zhì)元素的總含 量不得大于 0．01％。 其中：鋁≤60×10[-4

筑神-建筑下載: http://www.zhushen.com.cn QSY，DSY 透明石英玻璃儀器 本標(biāo)準(zhǔn)主要用于半導(dǎo)體工業(yè)采用的透明石英玻璃儀器。其他冶金、化工、科學(xué)研 究等所用透明石英玻璃儀器之技術(shù)要求均可參考本標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。 透明石英玻璃儀器有 QSY 透明石英玻璃儀器和 DSY 透明石英玻璃儀器兩種。 技術(shù)要求 1．透明石英玻璃儀器的化學(xué)成分，熱穩(wěn)定性，抗結(jié)晶性和高溫變色性，均不低 于同類管材的要求。 2．透明石英玻璃儀器在加工過(guò)程中，應(yīng)盡量消除應(yīng)力，必須保證在常溫下逐步 升溫至 1100℃，在爐內(nèi)自然冷卻后無(wú)炸裂。 3．兩種透明石英玻璃儀器均按加工部位的外觀指標(biāo)分為二級(jí)（見(jiàn)下表）。 項(xiàng) 目 一 級(jí) 二級(jí) 加工過(guò)程中混入（毫米） 0.1￣0.3 0.3￣1.0 色 斑 允許數(shù)量（個(gè)/100 厘米[2]） ≤2 ≤2 吊管接口應(yīng)做到軸向平行