套準是指集成電路制造光刻工藝中,各功能層之間圖形相對位置準確度所達到的允許范圍 。
在某給定的集成電路或器件的一套掩模正確疊加時,其中每一塊的掩模的全部功能圖形與其他任何一塊掩模版上相應圖形相對位置的準確度達到允許的范圍 ?;蛘哒f,半導體集成電路工藝中所有功能層之間相互疊加時,各層之間的圖形相對位置的準確度達到允許的范圍 。
【蝕刻工藝】蝕刻是金屬板模圖紋裝飾過程中的關鍵,要想得到條紋清晰、裝飾性很強的圖紋制品,必須注意控制好蝕刻工藝的條件。主要是蝕刻溶液的溫度和蝕刻時間。溶液溫度稍高,可以提高金屬溶解的速度,也就是蝕刻的...
使用中可能產(chǎn)生的問題及售后服務保證 (一).使用環(huán)境 雕刻機為高科技機電一體化設備,對工作環(huán)境有一定的要求。 1.避開強電、強磁等嚴重影響雕刻機信號傳輸?shù)脑O備。如:電焊機、發(fā)射塔等。 2.使用三芯電源...
蝕刻機可以分為化學蝕刻機及電解蝕刻機兩類。在化學蝕刻中是使用化學溶液,經(jīng)由化學反應以達到蝕刻的目的,化學蝕刻機是將材料用化學反應或物理撞擊作用而移除的技術。光刻機(Mask Aligner)...
用于印刷自動套準的控制與測量的EE1000系統(tǒng)。
系統(tǒng)采集印刷品上的專用色標圖案,計算出各個色組對應的圓弧的中心坐標,從而計算出各個色組的印刷偏移量,然后將該偏移量傳送給印刷機的伺服機構,由該伺服機構伺服各個色組縱橫向位置,最終完成精確套準。專用色標圖案如下:
2100433B
a.套印測量控制色組數(shù)量:2-13組(可擴充到21組)
b.套印測量精度:0.01毫米
c.線寬測量精度:0.01毫米(間接測量壓力)
d.專用色標大?。?x5平方毫米
e.最快測量速度:20張/秒
f.采圖面積:12x10平方毫米
g.相機:500萬像素CCD
h.數(shù)傳:MODBUS,RS232等
i.最大走紙速度:200米/分
j.最低走紙速度:0米/分