干化刻蝕機(jī)基本信息

中文名 干化刻蝕機(jī) 產(chǎn)????地 英國
學(xué)科領(lǐng)域 數(shù)學(xué) 啟用日期 2015年04月01日
所屬類別 分析儀器 > 電子光學(xué)儀器

主要工藝參數(shù)指標(biāo)：2英寸GaAs,InP, Al2O3刻蝕均一性小于±3%,批次間重復(fù)性好于±3%；GaAs刻蝕速率大于1000nm/min, InP刻蝕速率大于1000nm/min, Al2O3刻蝕速率大于50nm/min。系統(tǒng)配置終點監(jiān)測系統(tǒng)670nm激光干涉儀，可用于實時測量刻蝕深度。

干化刻蝕機(jī)造價信息

市場價 信息價 詢價
材料名稱 規(guī)格/型號 市場價
（除稅）		 工程建議價
（除稅）		 行情 品牌 單位 稅率 供應(yīng)商 報價日期
冷干機(jī) 冷干機(jī) Q=1.8m3/min，P=1MPa，N=0.6kw 查看價格 查看價格

英格索蘭

 臺 13% 廣西立淇環(huán)保有限公司
冷干機(jī) 冷干機(jī) Q=1.3m3/min，N=0.4kw 查看價格 查看價格

鮑斯

 臺 13% 廣西立淇環(huán)保有限公司
冷干機(jī) 冷干機(jī) Q=1.5m3/min，P=1.0MPa，N=0.6kw 查看價格 查看價格

開山

 臺 13% 廣西立淇環(huán)保有限公司
冷干機(jī) KELEPP KAD-20AH 處理量:2m3/min 查看價格 查看價格

臺 13% 克虜伯流體機(jī)械(武漢)有限公司
黑色蝕刻鏡 5mm厚 查看價格 查看價格

m2 13% 天津市津南區(qū)共創(chuàng)玻璃加工廠
橫卡蝕刻門 單扇門面積以2.1m2(單門寬度≤950mm),蝕刻門系列 查看價格 查看價格

扇 13% 南昌市佳音科技發(fā)展有限公司
空氣凈化消殺一體機(jī) FX-J010電子凈化箱、442×417×242mm 查看價格 查看價格

綠粵

 臺 13% 深圳市綠粵生態(tài)科技有限公司
空氣凈化消殺一體機(jī) FX-J030電子凈化箱、608×440×665.8mm 查看價格 查看價格

綠粵

 臺 13% 深圳市綠粵生態(tài)科技有限公司
材料名稱 規(guī)格/型號 除稅
信息價		 含稅
信息價		 行情 品牌 單位 稅率 地區(qū)/時間
夯實機(jī)(電機(jī)) 夯擊能力20-62Nm 查看價格 查看價格

臺班 廣州市2006年4季度信息價
夯實機(jī)(電機(jī)) 夯擊能力20-62Nm 查看價格 查看價格

臺班 廣州市2006年1季度信息價
夯實機(jī)(電機(jī)) 夯擊能力20-62Nm 查看價格 查看價格

臺班 廣州市2006年3季度信息價
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臺班 廣州市2006年2季度信息價
夯實機(jī)(電機(jī)) 夯擊能力20-62Nm 查看價格 查看價格

臺班 廣州市2005年4季度信息價
夯實機(jī)(電機(jī)) 夯擊能力20-62Nm 查看價格 查看價格

臺班 廣州市2005年2季度信息價
夯實機(jī)(電機(jī)) 夯擊能力20-62Nm 查看價格 查看價格

臺班 廣州市2005年1季度信息價
夯實機(jī)(電機(jī)) 夯擊能力20-62Nm 查看價格 查看價格

臺班 廣州市2005年3季度信息價
材料名稱 規(guī)格/需求量 報價數(shù) 最新報價
（元）		 供應(yīng)商 報價地區(qū) 最新報價時間
污泥干化機(jī) 去水量:4.8噸/日,功率:52kw|2套 1 查看價格 常州航行干燥工程有限公司    2016-09-27
干化機(jī)控制箱 具體參數(shù)參照附件|1臺 1 查看價格 深圳鑫榮電氣自動化有限公司 廣東  廣州市 2018-07-27
污泥干化池 1000*850*1250mm（8-10mm，pp/pvc材質(zhì)）|1臺 1 查看價格 廣州安優(yōu)實驗室設(shè)備科技有限公司 廣東  陽江市 2017-05-10
污泥干化器 -|1套 2 查看價格 廣州幼雅教育科技有限公司 全國   2022-04-26
污泥干化器 HDPE-80L|1套 1 查看價格 山東博斯達(dá)環(huán)保股份有限公司 廣東  深圳市 2021-08-23
蘇鐵干高60 干高60|8798株 1 查看價格 成都溫江華成園藝場 四川  成都市 2015-07-29
烘手干機(jī) 全自動干手機(jī),產(chǎn)品型號:M-888,電壓:220V,頻率:50Hz,功率:1800W|1套 1 查看價格 莫頓(浙江)實業(yè)有限公司 全國   2022-06-29
茶葉炒干機(jī) 6CCT-80|1臺 1 查看價格 信陽一鼎茶業(yè)科技有限公司 四川  樂山市 2022-06-07

300W,13.56MHz射頻源；3kW,13.56MHz ICP源。系統(tǒng)可以刻蝕SiO2、SiNX、Al2O3、Nb、GaAs、InP、GaAlAs及InAs等薄膜材料。直徑下電極，腔室大小滿足4英寸及以下尺寸樣品。工藝腔室真空度優(yōu)于3x10-6 Torr。工藝腔室設(shè)有觀察窗，具有腔壁自動加熱功能，腔壁溫度可維持在80℃左右；下電極配置冷水機(jī)，控溫精度達(dá)到±0.5℃。系統(tǒng)配置有12路工藝氣體的外置氣體盒，滿足目前工藝應(yīng)用需求。

干化刻蝕機(jī)常見問題

干化刻蝕機(jī)文獻(xiàn)

干法刻蝕工藝總結(jié) 干法刻蝕工藝總結(jié)

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頁數(shù)： 13頁

評分： 4.7

干法刻蝕工藝總結(jié) 離子束刻蝕機(jī)（ IBE-150A） 背景 : 利用輝光放電原理將氬氣分解為氬離子， 氬離子經(jīng)過陽極電場的加速對樣品表面 進(jìn)行物理轟擊， 以達(dá)到刻蝕的作用。 把 Ar、Kr 或 Xe之類惰性氣體充入離子源放 電室并使其電離形成等離子體， 然后由柵極將離子呈束狀引出并加速， 具有一定 能量的離子束進(jìn)入工作室， 射向固體表面撞擊固體表面原子， 使材料原子發(fā)生濺 射，達(dá)到刻蝕目的，屬純物理過程。 技術(shù)指標(biāo)： 裝片：一片六英寸襯底、或 1片四英寸，向下兼容。 抽氣速度： 30min由 ATM 到 1.0×10-3Pa 極限真空度： 2×10-4Pa 離子能量： 300eV-400eV ICP 刻蝕機(jī)（ OXFORD ICP 180） 背景 : 通入反應(yīng)氣體使用電感耦合等離子體輝光放電將其分解， 產(chǎn)生的具有強(qiáng)化學(xué)活性 的等離子體在電場的加速作用下移動到樣品表面， 對樣品表面既進(jìn)行化學(xué)

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第二章干法刻蝕的介紹 第二章干法刻蝕的介紹

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頁數(shù)： 7頁

評分： 4.5

第二章干法刻蝕的介紹 2. 1刻蝕、干法刻蝕和濕法腐蝕 2. 1 .1關(guān)于刻蝕 刻蝕，是指用化學(xué)或物理方法有選擇地從硅片表面去除不需要的材料的過程。 刻蝕的基 本目的，是在涂膠 (或有掩膜 )的硅片上正確的復(fù)制出掩膜圖形 [1]。 刻蝕，通常是在光刻工藝之后進(jìn)行。 我們通常通過刻蝕， 在光刻工藝之后，將想要的圖 形留在硅片上。從這一角度而言，刻蝕可以被稱之為最終的和最主要的圖形轉(zhuǎn)移工藝步驟。 在通常的刻蝕過程中，有圖形的光刻膠層〔或掩膜層 )將不受到腐蝕源顯著的侵蝕或刻蝕， 可作為掩蔽膜， 保護(hù)硅片上的部分特殊區(qū)域， 而未被光刻膠保護(hù)的區(qū)域， 則被選擇性的刻蝕 掉。 2.1.2 干法刻蝕與濕法刻蝕 在半導(dǎo)體制造中有兩種基本的刻蝕工藝：干法刻蝕和濕法腐蝕。 干法刻蝕， 是利用氣態(tài)中產(chǎn)生的等離子體， 通過經(jīng)光刻而開出的掩蔽層窗口， 與暴露于 等離子體中的硅片行物理和化學(xué)反應(yīng)，刻蝕掉硅片上暴露的

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等離子刻蝕機(jī)濕法刻蝕相對于等離子刻蝕的缺點

1. 硅片水平運(yùn)行，機(jī)片高(等離子刻蝕去PSG槽式浸泡甩干，硅片受沖擊小);

2. 下料吸筆易污染硅片(等離子刻蝕去PSG后甩干);

3. 傳動滾抽易變形(PVDF，PP材質(zhì)且水平放置易變形);

4. 成本高(化學(xué)品刻蝕代替等離子刻蝕成本增加)。

此外，有些等離子刻蝕機(jī)，如SCE等離子刻蝕機(jī)還具備"綠色"優(yōu)勢:無氟氯化碳和污水、操作和環(huán)境安全、排除有毒和腐蝕性的液體。SCE等離子刻蝕機(jī)支持以下四種平面等離子體處理模式:

直接模式--基片可以直接放置在電極托架或是底座托架上，以獲得最大的平面刻蝕效果。

定向模式--需要非等向性刻蝕(anisotropic etching)的基片可以放置在特制的平面托架上。

下游模式--基片可以放置在不帶電托架上，以便取得微小的等離子體效果。

定制模式--當(dāng)平面刻蝕配置不過理想時，特制的電極配置可以提供。

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TCP刻蝕機(jī)的刻蝕分辨率：100nm；基片尺寸：2英寸、4英寸。

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污泥干化池傳統(tǒng)干化池

傳統(tǒng)污泥干化池存在的問題主要表現(xiàn)在：

1、干化池濾料過厚時易造成阻塞，漂浮物（油）浮在最上層，水在中間，污泥在最下層，由于漂浮物（油）隔斷了水與空氣的接觸面而無法自然蒸發(fā)和過濾，當(dāng)濾料層過薄時，又起不到過濾的目的，從而使污泥干化效果不理想。

2、當(dāng)干化醫(yī)療污水產(chǎn)生的有機(jī)污泥時，需要3個月左右的時間，而且每次清理污泥時都會帶走大量的濾料，并受氣候變化的影響較大。而對含浮油污水產(chǎn)生的無機(jī)污泥，則需要半年左右的時間，還會造成油污帶來的火險隱患。

3、傳統(tǒng)污泥干化池清理污泥費(fèi)時、費(fèi)力，而且，對含浮油的污泥因沒有將油污分離開，還會造成固體廢棄物對環(huán)境產(chǎn)生新的污染。

污泥干化池新型干化池

新型污泥干化池與一般干化池的區(qū)別在于：新型污泥干化池采用直立穿孔PVC管外包尼龍網(wǎng)，有效防止了污泥堵塞濾料間隙，延長了濾料更換時間，降低了使用成本，提高了污泥處理效果，且運(yùn)行管理方便。

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