干化刻蝕機(jī)基本信息

中文名 干化刻蝕機(jī) 產(chǎn)????地 英國(guó)
學(xué)科領(lǐng)域 數(shù)學(xué) 啟用日期 2015年04月01日
所屬類別 分析儀器 > 電子光學(xué)儀器

主要工藝參數(shù)指標(biāo):2英寸GaAs,InP, Al2O3刻蝕均一性小于±3%,批次間重復(fù)性好于±3%;GaAs刻蝕速率大于1000nm/min, InP刻蝕速率大于1000nm/min, Al2O3刻蝕速率大于50nm/min。系統(tǒng)配置終點(diǎn)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)670nm激光干涉儀,可用于實(shí)時(shí)測(cè)量刻蝕深度。

干化刻蝕機(jī)造價(jià)信息

市場(chǎng)價(jià) 信息價(jià) 詢價(jià)
材料名稱 規(guī)格/型號(hào) 市場(chǎng)價(jià)
(除稅)
工程建議價(jià)
(除稅)
行情 品牌 單位 稅率 供應(yīng)商 報(bào)價(jià)日期
干機(jī) 干機(jī) Q=1.8m3/min,P=1MPa,N=0.6kw 查看價(jià)格 查看價(jià)格

英格索蘭

臺(tái) 13% 廣西立淇環(huán)保有限公司
干機(jī) 干機(jī) Q=1.3m3/min,N=0.4kw 查看價(jià)格 查看價(jià)格

鮑斯

臺(tái) 13% 廣西立淇環(huán)保有限公司
干機(jī) 干機(jī) Q=1.5m3/min,P=1.0MPa,N=0.6kw 查看價(jià)格 查看價(jià)格

開山

臺(tái) 13% 廣西立淇環(huán)保有限公司
干機(jī) KELEPP KAD-20AH 處理量:2m3/min 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái) 13% 克虜伯流體機(jī)械(武漢)有限公司
黑色蝕刻 5mm厚 查看價(jià)格 查看價(jià)格

m2 13% 天津市津南區(qū)共創(chuàng)玻璃加工廠
橫卡蝕刻 單扇門面積以2.1m2(單門寬度≤950mm),蝕刻門系列 查看價(jià)格 查看價(jià)格

13% 南昌市佳音科技發(fā)展有限公司
空氣凈消殺一體機(jī) FX-J010電子凈箱、442×417×242mm 查看價(jià)格 查看價(jià)格

綠粵

臺(tái) 13% 深圳市綠粵生態(tài)科技有限公司
空氣凈消殺一體機(jī) FX-J030電子凈箱、608×440×665.8mm 查看價(jià)格 查看價(jià)格

綠粵

臺(tái) 13% 深圳市綠粵生態(tài)科技有限公司
材料名稱 規(guī)格/型號(hào) 除稅
信息價(jià)
含稅
信息價(jià)
行情 品牌 單位 稅率 地區(qū)/時(shí)間
夯實(shí)機(jī)(電機(jī)) 夯擊能力20-62Nm 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 廣州市2006年4季度信息價(jià)
夯實(shí)機(jī)(電機(jī)) 夯擊能力20-62Nm 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 廣州市2006年1季度信息價(jià)
夯實(shí)機(jī)(電機(jī)) 夯擊能力20-62Nm 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 廣州市2006年3季度信息價(jià)
夯實(shí)機(jī)(電機(jī)) 夯擊能力20-62Nm 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 廣州市2006年2季度信息價(jià)
夯實(shí)機(jī)(電機(jī)) 夯擊能力20-62Nm 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 廣州市2005年4季度信息價(jià)
夯實(shí)機(jī)(電機(jī)) 夯擊能力20-62Nm 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 廣州市2005年2季度信息價(jià)
夯實(shí)機(jī)(電機(jī)) 夯擊能力20-62Nm 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 廣州市2005年1季度信息價(jià)
夯實(shí)機(jī)(電機(jī)) 夯擊能力20-62Nm 查看價(jià)格 查看價(jià)格

臺(tái)班 廣州市2005年3季度信息價(jià)
材料名稱 規(guī)格/需求量 報(bào)價(jià)數(shù) 最新報(bào)價(jià)
(元)
供應(yīng)商 報(bào)價(jià)地區(qū) 最新報(bào)價(jià)時(shí)間
污泥機(jī) 去水量:4.8噸/日,功率:52kw|2套 1 查看價(jià)格 常州航行干燥工程有限公司    2016-09-27
機(jī)控制箱 具體參數(shù)參照附件|1臺(tái) 1 查看價(jià)格 深圳鑫榮電氣自動(dòng)化有限公司 廣東  廣州市 2018-07-27
污泥 1000*850*1250mm(8-10mm,pp/pvc材質(zhì))|1臺(tái) 1 查看價(jià)格 廣州安優(yōu)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備科技有限公司 廣東  陽江市 2017-05-10
污泥 -|1套 2 查看價(jià)格 廣州幼雅教育科技有限公司 全國(guó)   2022-04-26
污泥 HDPE-80L|1套 1 查看價(jià)格 山東博斯達(dá)環(huán)保股份有限公司 廣東  深圳市 2021-08-23
蘇鐵高60 高60|8798株 1 查看價(jià)格 成都溫江華成園藝場(chǎng) 四川  成都市 2015-07-29
烘手機(jī) 全自動(dòng)干手機(jī),產(chǎn)品型號(hào):M-888,電壓:220V,頻率:50Hz,功率:1800W|1套 1 查看價(jià)格 莫頓(浙江)實(shí)業(yè)有限公司 全國(guó)   2022-06-29
茶葉炒機(jī) 6CCT-80|1臺(tái) 1 查看價(jià)格 信陽一鼎茶業(yè)科技有限公司 四川  樂山市 2022-06-07

300W,13.56MHz射頻源;3kW,13.56MHz ICP源。系統(tǒng)可以刻蝕SiO2、SiNX、Al2O3、Nb、GaAs、InP、GaAlAs及InAs等薄膜材料。直徑下電極,腔室大小滿足4英寸及以下尺寸樣品。工藝腔室真空度優(yōu)于3x10-6 Torr。工藝腔室設(shè)有觀察窗,具有腔壁自動(dòng)加熱功能,腔壁溫度可維持在80℃左右;下電極配置冷水機(jī),控溫精度達(dá)到±0.5℃。系統(tǒng)配置有12路工藝氣體的外置氣體盒,滿足目前工藝應(yīng)用需求。

干化刻蝕機(jī)常見問題

干化刻蝕機(jī)文獻(xiàn)

干法刻蝕工藝總結(jié) 干法刻蝕工藝總結(jié)

格式:pdf

大小:1.6MB

頁數(shù): 13頁

評(píng)分: 4.7

干法刻蝕工藝總結(jié) 離子束刻蝕機(jī)( IBE-150A) 背景 : 利用輝光放電原理將氬氣分解為氬離子, 氬離子經(jīng)過陽極電場(chǎng)的加速對(duì)樣品表面 進(jìn)行物理轟擊, 以達(dá)到刻蝕的作用。 把 Ar、Kr 或 Xe之類惰性氣體充入離子源放 電室并使其電離形成等離子體, 然后由柵極將離子呈束狀引出并加速, 具有一定 能量的離子束進(jìn)入工作室, 射向固體表面撞擊固體表面原子, 使材料原子發(fā)生濺 射,達(dá)到刻蝕目的,屬純物理過程。 技術(shù)指標(biāo): 裝片:一片六英寸襯底、或 1片四英寸,向下兼容。 抽氣速度: 30min由 ATM 到 1.0×10-3Pa 極限真空度: 2×10-4Pa 離子能量: 300eV-400eV ICP 刻蝕機(jī)( OXFORD ICP 180) 背景 : 通入反應(yīng)氣體使用電感耦合等離子體輝光放電將其分解, 產(chǎn)生的具有強(qiáng)化學(xué)活性 的等離子體在電場(chǎng)的加速作用下移動(dòng)到樣品表面, 對(duì)樣品表面既進(jìn)行化學(xué)

立即下載
第二章干法刻蝕的介紹 第二章干法刻蝕的介紹

格式:pdf

大?。?span id="ayrkubl" class="single-tag-height">1.6MB

頁數(shù): 7頁

評(píng)分: 4.5

第二章干法刻蝕的介紹 2. 1刻蝕、干法刻蝕和濕法腐蝕 2. 1 .1關(guān)于刻蝕 刻蝕,是指用化學(xué)或物理方法有選擇地從硅片表面去除不需要的材料的過程。 刻蝕的基 本目的,是在涂膠 (或有掩膜 )的硅片上正確的復(fù)制出掩膜圖形 [1]。 刻蝕,通常是在光刻工藝之后進(jìn)行。 我們通常通過刻蝕, 在光刻工藝之后,將想要的圖 形留在硅片上。從這一角度而言,刻蝕可以被稱之為最終的和最主要的圖形轉(zhuǎn)移工藝步驟。 在通常的刻蝕過程中,有圖形的光刻膠層〔或掩膜層 )將不受到腐蝕源顯著的侵蝕或刻蝕, 可作為掩蔽膜, 保護(hù)硅片上的部分特殊區(qū)域, 而未被光刻膠保護(hù)的區(qū)域, 則被選擇性的刻蝕 掉。 2.1.2 干法刻蝕與濕法刻蝕 在半導(dǎo)體制造中有兩種基本的刻蝕工藝:干法刻蝕和濕法腐蝕。 干法刻蝕, 是利用氣態(tài)中產(chǎn)生的等離子體, 通過經(jīng)光刻而開出的掩蔽層窗口, 與暴露于 等離子體中的硅片行物理和化學(xué)反應(yīng),刻蝕掉硅片上暴露的

立即下載

等離子刻蝕機(jī)濕法刻蝕相對(duì)于等離子刻蝕的缺點(diǎn)

1. 硅片水平運(yùn)行,機(jī)片高(等離子刻蝕去PSG槽式浸泡甩干,硅片受沖擊小);

2. 下料吸筆易污染硅片(等離子刻蝕去PSG后甩干);

3. 傳動(dòng)滾抽易變形(PVDF,PP材質(zhì)且水平放置易變形);

4. 成本高(化學(xué)品刻蝕代替等離子刻蝕成本增加)。

此外,有些等離子刻蝕機(jī),如SCE等離子刻蝕機(jī)還具備"綠色"優(yōu)勢(shì):無氟氯化碳和污水、操作和環(huán)境安全、排除有毒和腐蝕性的液體。SCE等離子刻蝕機(jī)支持以下四種平面等離子體處理模式:

直接模式--基片可以直接放置在電極托架或是底座托架上,以獲得最大的平面刻蝕效果。

定向模式--需要非等向性刻蝕(anisotropic etching)的基片可以放置在特制的平面托架上。

下游模式--基片可以放置在不帶電托架上,以便取得微小的等離子體效果。

定制模式--當(dāng)平面刻蝕配置不過理想時(shí),特制的電極配置可以提供。

TCP刻蝕機(jī)的刻蝕分辨率:100nm;基片尺寸:2英寸、4英寸。

污泥干化池傳統(tǒng)干化池

傳統(tǒng)污泥干化池存在的問題主要表現(xiàn)在:

1、干化池濾料過厚時(shí)易造成阻塞,漂浮物(油)浮在最上層,水在中間,污泥在最下層,由于漂浮物(油)隔斷了水與空氣的接觸面而無法自然蒸發(fā)和過濾,當(dāng)濾料層過薄時(shí),又起不到過濾的目的,從而使污泥干化效果不理想。

2、當(dāng)干化醫(yī)療污水產(chǎn)生的有機(jī)污泥時(shí),需要3個(gè)月左右的時(shí)間,而且每次清理污泥時(shí)都會(huì)帶走大量的濾料,并受氣候變化的影響較大。而對(duì)含浮油污水產(chǎn)生的無機(jī)污泥,則需要半年左右的時(shí)間,還會(huì)造成油污帶來的火險(xiǎn)隱患。

3、傳統(tǒng)污泥干化池清理污泥費(fèi)時(shí)、費(fèi)力,而且,對(duì)含浮油的污泥因沒有將油污分離開,還會(huì)造成固體廢棄物對(duì)環(huán)境產(chǎn)生新的污染。

污泥干化池新型干化池

新型污泥干化池與一般干化池的區(qū)別在于:新型污泥干化池采用直立穿孔PVC管外包尼龍網(wǎng),有效防止了污泥堵塞濾料間隙,延長(zhǎng)了濾料更換時(shí)間,降低了使用成本,提高了污泥處理效果,且運(yùn)行管理方便。

干化刻蝕機(jī)相關(guān)推薦
  • 相關(guān)百科
  • 相關(guān)知識(shí)
  • 相關(guān)專欄

最新詞條

安徽省政采項(xiàng)目管理咨詢有限公司 數(shù)字景楓科技發(fā)展(南京)有限公司 懷化市人民政府電子政務(wù)管理辦公室 河北省高速公路京德臨時(shí)籌建處 中石化華東石油工程有限公司工程技術(shù)分公司 手持無線POS機(jī) 廣東合正采購(gòu)招標(biāo)有限公司 上海城建信息科技有限公司 甘肅鑫禾國(guó)際招標(biāo)有限公司 燒結(jié)金屬材料 齒輪計(jì)量泵 廣州采陽招標(biāo)代理有限公司河源分公司 高鋁碳化硅磚 博洛尼智能科技(青島)有限公司 燒結(jié)剛玉磚 深圳市東海國(guó)際招標(biāo)有限公司 搭建香蕉育苗大棚 SF計(jì)量單位 福建省中億通招標(biāo)咨詢有限公司 泛海三江 威海鼠尾草 廣東國(guó)咨招標(biāo)有限公司 Excel 數(shù)據(jù)處理與分析應(yīng)用大全 甘肅中泰博瑞工程項(xiàng)目管理咨詢有限公司 山東創(chuàng)盈項(xiàng)目管理有限公司 當(dāng)代建筑大師 拆邊機(jī) 廣西北纜電纜有限公司 大山檳榔 上海地鐵維護(hù)保障有限公司通號(hào)分公司 舌花雛菊 甘肅中維國(guó)際招標(biāo)有限公司 華潤(rùn)燃?xì)猓ㄉ虾#┯邢薰? 湖北鑫宇陽光工程咨詢有限公司 GB8163標(biāo)準(zhǔn)無縫鋼管 中國(guó)石油煉化工程建設(shè)項(xiàng)目部 韶關(guān)市優(yōu)采招標(biāo)代理有限公司 莎草目 建設(shè)部關(guān)于開展城市規(guī)劃動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)工作的通知 電梯平層準(zhǔn)確度 廣州利好來電氣有限公司 蘇州弘創(chuàng)招投標(biāo)代理有限公司