本規(guī)程適用于新制造、使用中和修理后的激光干涉比長(zhǎng)儀的檢定。
干涉原理上來(lái)說(shuō),白光和激光沒(méi)有本質(zhì)區(qū)別,就是頻率有差別而已 。但目前使用的大部分邁克爾遜干涉儀是 白光式的。
白光干涉儀是用于對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量的儀器,它是以白光干涉技術(shù)為原理,光源發(fā)出的光經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束,一束經(jīng)被測(cè)表面反射回來(lái),另外一束光經(jīng)參考鏡反射,兩束反射光最終匯聚并發(fā)...
汞燈可用譜線:365.0nm(紫外光)、404.7nm(蘭紫光)、435.8nm(蘭光)、546.1nm(綠光)、577.0nm(黃光)。
格式:pdf
大?。?span id="eoi00gr" class="single-tag-height">166KB
頁(yè)數(shù): 未知
評(píng)分: 4.8
我國(guó)第一臺(tái)多用途、高精度的光學(xué)測(cè)試儀器—JDG-1型激光多用干涉儀,最近在安徽光學(xué)精密機(jī)械研究所研制成功.這臺(tái)儀器可用于測(cè)量光學(xué)零件的平面度、平行度、球面
格式:pdf
大小:166KB
頁(yè)數(shù): 8頁(yè)
評(píng)分: 4.6
用激光干涉儀系統(tǒng)進(jìn)行精確的線性測(cè)量 — 最佳操作及實(shí)踐經(jīng)驗(yàn) 1 簡(jiǎn)介 本文描述的最佳操作步驟及實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)主要針對(duì)使用激光干涉儀校準(zhǔn)機(jī)床如車(chē)床、銑床以及 坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的線性精度。但是,文中描述的一般原則適用于所有情況。與激光測(cè)量方法相 關(guān)的其它項(xiàng)目,如角度、平面度、直線度和平行度測(cè)量不包括在內(nèi),用于實(shí)現(xiàn) 0.1 微米即 0.1 ppm 以下的短距離精度測(cè)量的特殊方法(如真空操作)也不包括在內(nèi)。 微米是極小的距離測(cè)量單位。( 1 微米比一根頭發(fā)的 1/25 還細(xì)。由于太細(xì),所以肉眼無(wú) 法看到,接近于傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的極限值)??蓪?shí)現(xiàn)微米級(jí)及更高分辨率的數(shù)顯表的廣泛 使用,為用戶(hù)提供了令人滿(mǎn)意的測(cè)量精度。盡管測(cè)量值在小數(shù)點(diǎn)后有很多位數(shù),但并不表 明都很精確。(在許多情況下精度比顯示的分辨率低 10-100 倍)。實(shí)現(xiàn) 1 微米的測(cè)量分 辨率很容易,但要得到 1 微米的測(cè)量精度需要特別注意一些細(xì)節(jié)。本文
高等別線紋尺校準(zhǔn)、檢測(cè),激光測(cè)長(zhǎng)儀檢測(cè)。
U=(0.06 0.1L)um,k=3, L:m。
《物理學(xué)名詞》第三版。