微機(jī)電系統(tǒng)MEMS干涉測量方法進(jìn)展

反干涉齒輪集微機(jī)電系統(tǒng)密碼鎖是一種用于要害系統(tǒng)的機(jī)電一體化裝置,通過訪問意圖密碼與鎖體內(nèi)部固化的機(jī)械授權(quán)密碼比對鑒別實(shí)現(xiàn)安全保證.研究了三相四對極軸向磁場微電機(jī)的步進(jìn)控制邏輯,建立了鑒碼系統(tǒng)的動力學(xué)模型,分析了系統(tǒng)的模態(tài)和不同摩擦參數(shù)下的動力學(xué)響應(yīng).分析表明,密碼鎖實(shí)現(xiàn)鑒碼功能不僅要考慮驅(qū)動器的電氣控制,還要考慮鑒碼軸系的動態(tài)特性.通過控制棘輪棘爪處的摩擦力矩可有效提高微機(jī)電系統(tǒng)密碼鎖的鑒碼性能.

微機(jī)電系統(tǒng)是源于微電子加工技術(shù)，融合了微機(jī)械制造、傳感、致動及微控制于一體的系統(tǒng)。微機(jī)電系統(tǒng)融合了力、電、流體、光、磁、熱等多個物理域，建模與仿真技術(shù)的迅速發(fā)展，討論了目前有關(guān)微機(jī)電系統(tǒng)建模與仿真的基本理論和方法。

根據(jù)《微機(jī)電系統(tǒng)》課程的特點(diǎn),對其教學(xué)內(nèi)容、教學(xué)方式和實(shí)驗(yàn)教學(xué)等方面進(jìn)行教學(xué)探討,以提高課程的教學(xué)效果。

精密位移量的激光干涉測量方法及實(shí)驗(yàn) 一、實(shí)驗(yàn)?zāi)康模?1．了解激光干涉測量的原理 2．掌握微米及亞微米量級位移量的激光干涉測量方法 3．了解激光干涉測量方法的優(yōu)點(diǎn)和應(yīng)用場合 二、實(shí)驗(yàn)原理 本實(shí)驗(yàn)采用泰曼－格林（twyman-green）干涉系統(tǒng)，t－g干涉系統(tǒng)是著名的邁克爾遜 白光干涉儀的簡化。用激光為光源，可獲得清晰、明亮的干涉條紋，其原理如圖1所示。 he-ne激光器 擴(kuò)束準(zhǔn)直系統(tǒng) m1（參考鏡） m2（測量鏡） 干涉條紋 l1 l2 d bs l /2 圖1t－g干涉系統(tǒng) 激光通過擴(kuò)束準(zhǔn)直系統(tǒng)l1提供入射的平面波（平行光束）。設(shè)光軸方向?yàn)閦軸，則此平 面波可用下式表示： ikzaezu)((1) 式中a平面波的振幅，2k為波數(shù)，激光波長 此平面波經(jīng)半反射鏡bs分為二束，一束經(jīng)參考鏡m1，反射后成為參考光束，其復(fù)振 幅u

物體微小振動光學(xué)干涉測量方法的研究 作者：張濤 學(xué)位授予單位：北京交通大學(xué) 本文讀者也讀過(9條) 1.王小芳四波耦合微振動光學(xué)測量的研究[學(xué)位論文]2006 2.周曉輝.楊耀權(quán).盧海霞.楊麗一種非接觸振動測量方法的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)[期刊論文]-儀器儀表與分析監(jiān)測2005(4) 3.蘇鐵基于dsp控制的光子美容機(jī)的研制[學(xué)位論文]2010 4.雷和平非線性光干涉測量微小振動方法的研究[學(xué)位論文]2009 5.郭廣平.計(jì)欣華.秦玉文.杜家吉微振動測量的光外差干涉儀[會議論文]-2000 6.王冬云.楊國光鏡像光衍射技術(shù)及其在測量中的應(yīng)用[期刊論文]-光學(xué)學(xué)報2001,21(9) 7.于浩ccd相機(jī)測量對比度的校正方法研究[學(xué)位論文]201

正交偏振激光干涉振動測量方法與實(shí)驗(yàn)研究文檔信息

根據(jù)劈尖等厚干涉原理，采用讀數(shù)顯微鏡作為新的測量手段，研制了磁致伸縮系數(shù)測量裝置，精確測量鋱鏑鐵合金和q235碳素結(jié)構(gòu)鋼在弱磁場中的磁致伸縮系數(shù)．該裝置具有測量方法簡單、直觀，且精度很高的特點(diǎn)．

根據(jù)劈尖等厚干涉原理，采用讀數(shù)顯微鏡作為新的測量手段，研制了磁致伸縮系數(shù)測量裝置，精確測量鋱鏑鐵合金和q235碳素結(jié)構(gòu)鋼在弱磁場中的磁致伸縮系數(shù)．該裝置具有測量方法簡單、直觀，且精度很高的特點(diǎn)．

根據(jù)光學(xué)中楊氏雙縫干涉實(shí)驗(yàn)原理設(shè)計(jì)出超聲波雙縫干涉測量聲速的實(shí)驗(yàn)裝置.運(yùn)用波的干涉原理,將聲波接收器接收到的干涉信號輸入到示波器,通過示波器來顯示干涉極大和干涉極小現(xiàn)象,利用分光計(jì)的雙游標(biāo)讀數(shù)原理測量干涉極大和干涉極小對應(yīng)的θ角.通過實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)計(jì)算得出干涉極大和極小對應(yīng)的聲速分別為(336.2±0.3)m/s,(338.8±0.2)m/s.

實(shí)驗(yàn)十一干涉法測量壓電陶瓷特性 一、實(shí)驗(yàn)?zāi)康?1.通過實(shí)驗(yàn)掌握激光測長儀的基本工作原理。 2.掌握搭設(shè)激光光路基本方法與技巧。 3.學(xué)會用干涉方法測量微小位移。 二、實(shí)驗(yàn)原理 測量位移是邁克爾遜干涉儀的典型應(yīng)用，測量原理如圖11—1所示: 圖11－1 由ne—ne激光器發(fā)出的光經(jīng)分光鏡g后，光束被分成兩路，反射光射向參考鏡m1（固定），透射光射向測 鏡m2 （可移動），兩路光分別經(jīng)m1、m2反射后，在分光鏡處會合，在接受屏p處產(chǎn)生干涉條紋，通過給壓電陶瓷 電壓使m2 的移動，干涉條紋發(fā)生變化，由于干涉條紋明暗變化一次，相當(dāng)于測量鏡m2移動了入/2，若條紋變化n次， 位移l由下 式確定： l=n?入/2（11 1） 所以通過測出條紋的變化數(shù)就可計(jì)算出位移量，這就是激光測長儀的基本原理。 三、實(shí)驗(yàn)儀器

設(shè)計(jì)研制了一種小體積、低成本、可擴(kuò)展的低電壓非硅基底1×4微機(jī)電系統(tǒng)光開關(guān)。開關(guān)單元由電磁驅(qū)動,微反射鏡繞直徑100μm轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動,驅(qū)動電壓為5v,開關(guān)時間小于2ms,插入損耗小于0.84db,具有斷電自鎖功能。器件構(gòu)造工藝采用微細(xì)電火花加工技術(shù)。用有限元法分析受力和磁場,進(jìn)行結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì),并著重介紹開關(guān)的實(shí)現(xiàn)及性能

介紹了微機(jī)電系統(tǒng)的基本概念、醫(yī)療用微機(jī)電系統(tǒng)的研究和幾種典型的應(yīng)用實(shí)例。

用激光干涉儀系統(tǒng)進(jìn)行精確的線性測量 — 最佳操作及實(shí)踐經(jīng)驗(yàn) 1簡介 本文描述的最佳操作步驟及實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)主要針對使用激光干涉儀校準(zhǔn)機(jī)床如車床、銑床以及 坐標(biāo)測量機(jī)的線性精度。但是，文中描述的一般原則適用于所有情況。與激光測量方法相 關(guān)的其它項(xiàng)目，如角度、平面度、直線度和平行度測量不包括在內(nèi)，用于實(shí)現(xiàn)0.1微米即 0.1ppm以下的短距離精度測量的特殊方法（如真空操作）也不包括在內(nèi)。 微米是極小的距離測量單位。（1微米比一根頭發(fā)的1/25還細(xì)。由于太細(xì)，所以肉眼無 法看到，接近于傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的極限值）?？蓪?shí)現(xiàn)微米級及更高分辨率的數(shù)顯表的廣泛 使用，為用戶提供了令人滿意的測量精度。盡管測量值在小數(shù)點(diǎn)后有很多位數(shù)，但并不表 明都很精確。（在許多情況下精度比顯示的分辨率低10-100倍）。實(shí)現(xiàn)1微米的測量分 辨率很容易，但要得到1微米的測量精度需要特別注意一些細(xì)節(jié)。本文

分束干涉光學(xué)間隔測量中干涉條紋級次的一種識別方法

實(shí)驗(yàn)室測量金屬的線脹系數(shù)普遍采用的是光杠桿法,經(jīng)實(shí)驗(yàn)證明光杠桿法存在偶然誤差大、測量精度低、占地空間大等問題,通過利用劈尖的等厚干涉法能夠很好地解決光杠桿法存在的問題.新方法具有溫升范圍小、加熱功率低、測量精度高、操作簡單直觀、占地空間小等優(yōu)點(diǎn),便于實(shí)際教學(xué)中教師的講解、示教和演示,有利于學(xué)生綜合應(yīng)用知識,提高綜合設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)的能力.

用白光干涉儀自動測量金剛石砂輪表面形貌時,為了獲得更精準(zhǔn)的干涉區(qū)域,在干涉儀所采集到的一系列圖像中,首先通過計(jì)算相鄰的2張圖像各像素灰度值的變化從而得到一系列新的灰度圖像。然后計(jì)算每幀新圖像的非零點(diǎn)像素的均值和極值,據(jù)此計(jì)算得出用于確定干涉區(qū)域的閾值以實(shí)現(xiàn)自動掃描。實(shí)驗(yàn)表明:此方法運(yùn)算速度較快,而且對局部區(qū)域的干涉更敏感,可以更精確地搜索出干涉區(qū)間。采用步進(jìn)電機(jī)和壓電陶瓷二級驅(qū)動,可以在100s內(nèi)實(shí)現(xiàn)100μm范圍內(nèi)掃描區(qū)間的自動獲取并實(shí)現(xiàn)垂直方向的數(shù)據(jù)采集。

首先闡述了數(shù)字散斑干涉法測量面內(nèi)及離面變形量的原理和裝置結(jié)構(gòu),并將其應(yīng)用于鋁合金材料的熱變形測量中;結(jié)合數(shù)字圖像處理技術(shù),獲得代表變形量的數(shù)字散斑干涉條紋圖。結(jié)果表明數(shù)字散斑干涉測量法具有實(shí)時性強(qiáng)、結(jié)構(gòu)簡單、全場,非接觸測量等優(yōu)點(diǎn)。

分析了用相干光測量細(xì)絲直徑的原理和方法,分別用鈉光和氦氖氣體激光測量并計(jì)算出同一金屬細(xì)絲的直徑,計(jì)算和分析了測量誤差,研究和比較了兩種光源對測量誤差的影響.

基于微機(jī)電系統(tǒng)開關(guān)的四位移相器設(shè)計(jì)

文章對偏振模色散對光通信系統(tǒng)的影響作了簡要說明,詳細(xì)介紹了干涉法測量偏振模色散的原理并分別說明了干涉法測量偏振模色散的兩種方式。結(jié)合實(shí)際opgw光纜線路,給出了測試結(jié)果,測試結(jié)果表明,該光纜線路偏振模色散性能良好。

文章編號:025322239(2007)082143025 基于適度光反饋?zhàn)曰旌细缮婕夹g(shù)的振動測量3 禹延光　郭常盈　葉會英 (鄭州大學(xué)信息工程學(xué)院,鄭州450052) 摘要:　光反饋?zhàn)曰旌细缮婕夹g(shù)是一種新浮現(xiàn)的有別于傳統(tǒng)雙光束干涉的一類新的測試技術(shù)。為了在適度光反饋 下進(jìn)行振動的精密測量,提出了一種基于適度光反饋?zhàn)曰旌细缮婕夹g(shù)的振動測量方法。經(jīng)對光反饋?zhàn)曰旌细缮嫘?號條紋分析,發(fā)現(xiàn)通過選定合適的光反饋水平及激光器線寬展寬因數(shù),可以得到鋸齒干涉條紋。這種干涉信號不 僅包含振動幅度信息也包含振動方向信息。該振動測量方法利用鋸齒干涉條紋的特點(diǎn),首先通過條紋記數(shù)實(shí)現(xiàn)大 范圍振幅粗測,具有半波長位移分辨力;然后基于適度光反饋下小數(shù)條紋的特點(diǎn),給出了小于半波長位移測量的線 性表達(dá)式,從而實(shí)現(xiàn)位移的精測。仿真計(jì)算表明,該方法可以實(shí)現(xiàn)大量程高分辨力振動位

運(yùn)用光的干涉理論,分別討論了點(diǎn)光源在楔形平板情況下的干涉條紋及光強(qiáng)分布,并推導(dǎo)出測量平板楔角的一種新方法。運(yùn)用該方法時平板楔角進(jìn)行了測量,獲得了精確的結(jié)果(不確定度<10-5)。