X熒光光譜儀技術(shù)原理

受激發(fā)的樣品中的每一種元素會(huì)放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長(zhǎng)特性。探測(cè)系統(tǒng)測(cè)量這些放射出來(lái)的二次X射線的能量及數(shù)量。然后，儀器軟件將探測(cè)系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量。

元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷，同時(shí)發(fā)射出具有一定特殊性波長(zhǎng)的X射線，根據(jù)莫斯萊定律，熒光X射線的波長(zhǎng)λ與元素的原子序數(shù)Z有關(guān)，其數(shù)學(xué)關(guān)系如下：

λ=K(Z? s) ?2

式中K和S是常數(shù)。

而根據(jù)量子理論，X射線可以看成由一種量子或光子組成的粒子流，每個(gè)光具有的能量為：

E=hν=h C/λ

式中，E為X射線光子的能量，單位為keV；h為普朗克常數(shù)；ν為光波的頻率；C為光速。

因此,只要測(cè)出熒光X射線的波長(zhǎng)或者能量,就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎(chǔ)。此外,熒光X射線的強(qiáng)度與相應(yīng)元素的含量有一定的關(guān)系，據(jù)此，可以進(jìn)行元素定量分析。

X熒光光譜儀根據(jù)各元素的特征X射線的強(qiáng)度，可以 測(cè)定元素含量。

近年來(lái)，X熒光光譜分析在各行業(yè)應(yīng)用范圍不斷拓展，已成為一種廣泛應(yīng)用于冶金、地質(zhì)、有色、建材、商檢、環(huán)保、衛(wèi)生等各個(gè)領(lǐng)域，特別是在RoHS檢測(cè)領(lǐng)域應(yīng)用得最多也最廣泛。

大多數(shù)分析元素均可用其進(jìn)行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為Be到U。并且具有分析速度快、測(cè)量范圍寬、干擾小的特點(diǎn)。

X熒光光譜儀優(yōu)點(diǎn)

a) 分析速度快。測(cè)定用時(shí)與測(cè)定精密度有關(guān)，但一般都很短，10～300秒就可以測(cè)完樣品中的全部待測(cè)元素。

b) X射線熒光光譜跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無(wú)關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒(méi)有關(guān)系。（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密測(cè)定中卻可看到有波長(zhǎng)變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。波長(zhǎng)變化用于化學(xué)位的測(cè)定 。

c) 非破壞分析。在測(cè)定中不會(huì)引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會(huì)出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測(cè)量，結(jié)果重現(xiàn)性好。

d) X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對(duì)在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析。

e) 分析精密度高。含量測(cè)定已經(jīng)達(dá)到ppm級(jí)別。

f) 制樣簡(jiǎn)單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。

X熒光光譜儀缺點(diǎn)

a） 定量分析需要標(biāo)樣。

b）對(duì)輕元素的靈敏度要低一些。

c）容易受元素相互干擾和疊加峰影響。

X熒光光譜儀有兩種基本類型：波長(zhǎng)色散型（WD-XRF）和能量色散型（ED-XRF）。

以X熒光的波粒二象性中波長(zhǎng)特征為原理的稱為波長(zhǎng)色散型，以能量特征為原理的稱為能量色散型。

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測(cè)試液體與粉沫時(shí)、加厚型麥拉膜6.0μ;0.00610mm，如果測(cè)試液體時(shí)使用2.5μ;0.00254mm液體會(huì)滲漏到咱們的分析儀器上，注意一但液體滲漏到分析儀器里面是不保修的（剛買的新機(jī)同樣也不保這屬于人為）。