雙電導(dǎo)探針

測(cè)定氣泡尺寸。

采用按一定間距排列的一對(duì)電導(dǎo)電極測(cè)定局部電導(dǎo)率值變化，由于氣液兩相電導(dǎo)率的顯著差異，電導(dǎo)探針能準(zhǔn)確反映所處位置氣泡的變化過(guò)程，并轉(zhuǎn)化為相應(yīng)的電信號(hào)，進(jìn)而計(jì)算出氣泡弦長(zhǎng)分布。測(cè)量時(shí)當(dāng)電導(dǎo)探針中兩個(gè)電極先后刺穿氣泡時(shí)，兩電極尖端位置的電導(dǎo)值發(fā)生變化，經(jīng)檢波、放大、電平調(diào)整、轉(zhuǎn)換等電路后形成如圖三所示方波信號(hào)并由計(jì)算機(jī)采集記錄 。2100433B

雙電導(dǎo)探針中不銹鋼針頭尖端部分暴露在測(cè)量體系中，構(gòu)成探針的一極，另一極由圖中不銹鋼管構(gòu)成，如圖一所示 。

還有一種是主要由上下游導(dǎo)電探針及金屬套筒三部分構(gòu)成。圖二中l(wèi)1為下游探針，探出套筒長(zhǎng)度，l2為上游探計(jì)探出套筒長(zhǎng)度， s為兩探針左右中心間距 。

探針臺(tái)分類

探針臺(tái)從操作上來(lái)區(qū)分有：手動(dòng)，半自動(dòng)，全自動(dòng)

從功能上來(lái)區(qū)分有：溫控探針臺(tái)，真空探針臺(tái)（超低溫探針臺(tái)），RF探針臺(tái)，LCD平板探針臺(tái)，霍爾效應(yīng)探針臺(tái)，表面電阻率探針臺(tái)

經(jīng)濟(jì)手動(dòng)型

根據(jù)客戶需求定制

chuck尺寸：4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12" (可選）

X-Y移動(dòng)行程：4"*4" 6"*6" 8"*8" 12"*12"(可選）

chuck Z軸方向升降10mm（選項(xiàng)）方便探針與樣品快速分離

顯微鏡：金相顯微鏡、體式顯微鏡、單筒顯微鏡（可選）

顯微鏡移動(dòng)方式：立柱環(huán)繞型、移動(dòng)平臺(tái)型、龍門結(jié)構(gòu)型（可選）

探針座：有0.7um、2um、10um精度可選，磁性吸附帶磁力開(kāi)關(guān)

可搭配Probe card測(cè)試

適用領(lǐng)域：晶圓廠、研究所、高校等

半自動(dòng)型

chuck尺寸800mm/600mm

X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程200mm/150mm

chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm

可搭配MITUTOYO金相顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡

針座擺放個(gè)數(shù)6～8顆

顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2"x2"x2"

可搭配Probe card測(cè)試

適用領(lǐng)域：8寸/6寸Wafer、IC測(cè)試之產(chǎn)品

電動(dòng)型

chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不銹鋼或鍍金）

X,Y電動(dòng)移動(dòng)行程300mm x 300mm

chuck粗調(diào)升降9mm，微調(diào)升降16mm，微調(diào)精度土1u

可搭配MITUTOYO晶像顯微鏡或者AEC實(shí)體顯微鏡

針座擺放個(gè)數(shù)8～12顆

顯微鏡X-Y-Z移動(dòng)范圍2“x2”x2“

材質(zhì)：花崗巖臺(tái)面 不銹鋼

可搭配Probe card測(cè)試

適用領(lǐng)域：12寸Wafer、IC測(cè)試之產(chǎn)品

LCD半自動(dòng)探針臺(tái)

機(jī)械手臂取放片

電動(dòng)、鍵入坐標(biāo)尋位置

量測(cè)尺寸（mm）：1800x1600、1300x1200、1200x1000

LCD手動(dòng)探針臺(tái)

白熾燈或者LED整面背光

TFT元件特性、Driver IC量測(cè)分析

機(jī)臺(tái)尺寸（mm）：800x600、500x400、300x300

PCB量測(cè)探針臺(tái)（TDR）

高頻測(cè)試探頭GSG / GS / SG

頻率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ

機(jī)臺(tái)尺寸同LCD 探針臺(tái)

太陽(yáng)能產(chǎn)業(yè)探針臺(tái)（Solar Cell 量測(cè)系統(tǒng)）

量測(cè)軟體:

I-V /C-V Curve, Isc, Voc,

Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,

Power Convert Efficiency

采用KEITHLEY Source Meter

可加配任意品牌之太陽(yáng)光模擬器

1.什么是探針臺(tái)

探針臺(tái)是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu)，測(cè)試人員把需要量測(cè)的器件放到探針臺(tái)載物臺(tái)（chuck）上，在顯微鏡配合下，X-Y移動(dòng)器件，找到需要探測(cè)的位置。接下來(lái)測(cè)試人員通過(guò)旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針（射頻或直流探針），精準(zhǔn)扎到被測(cè)點(diǎn)，從而使其訊號(hào)線與外部測(cè)試機(jī)導(dǎo)通，通過(guò)測(cè)試機(jī)測(cè)試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。

2探針臺(tái)應(yīng)用

手動(dòng)探針臺(tái)廣泛應(yīng)用于，科研單位研發(fā)測(cè)試、院校教學(xué)操作、企業(yè)實(shí)驗(yàn)室芯片失效分析等領(lǐng)域。一般使用于研發(fā)測(cè)試階段 ，批量不是很大的情況，大批量的重復(fù)測(cè)試推薦使用探卡。

主要功能：搭配外接測(cè)試測(cè)半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀、示波器、網(wǎng)分等測(cè)試源表，量測(cè)半導(dǎo)體器件IV CV脈沖/動(dòng)態(tài)IV等參數(shù)。

用途：以往如果需要測(cè)試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能（如電流、電壓、阻抗等）或工作狀態(tài)，測(cè)試人員一般會(huì)采用表筆去點(diǎn)測(cè)。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展，對(duì)于精密微小（納米級(jí)）的微電子器件（如IC、wafer、Chip、LCD Array、CMOS Camera Module、Pitch微小的Connector），表筆點(diǎn)到被測(cè)位置就顯得無(wú)能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生,利用高精度微探針將被測(cè)原件的內(nèi)部訊號(hào)引導(dǎo)出來(lái)，便于其電性測(cè)試設(shè)備（不屬于本機(jī)器）對(duì)此測(cè)試、分析。

探針臺(tái)執(zhí)行機(jī)構(gòu)由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調(diào)節(jié)旋鈕，控制固定在針座上的探針桿做三向移動(dòng)，移動(dòng)范圍12mm，移動(dòng)精度可以達(dá)到0.7微米。這樣可以把探針很好的點(diǎn)到待測(cè)點(diǎn)上（說(shuō)明探針是耗材，一般客戶自己準(zhǔn)備），探針探測(cè)到的信號(hào)可以通過(guò)探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測(cè)試機(jī)上，從而得到電性能的參數(shù)。對(duì)于重復(fù)測(cè)試同種器件，多個(gè)點(diǎn)位的推薦使用探針臺(tái)安裝探卡進(jìn)行測(cè)試。

3、工作環(huán)境

探針臺(tái)應(yīng)放在堅(jiān)固穩(wěn)定的臺(tái)面上，如地基有震動(dòng)的情況，需要配置主動(dòng)防震裝置，避免在高溫、潮濕、激烈震動(dòng)、陽(yáng)光直接照射和灰塵較多的環(huán)境下使用。使用最佳溫度范圍為5℃～40℃，最佳濕度是40%到85%，空氣中之濕度若低于30%以下，可靠濕度控制器予以控制，使維持50%～60%之范圍。使用時(shí)門窗盡可能關(guān)閉，使室內(nèi)達(dá)到除濕效果。

使用電源：220V，50Hz