真空系統(tǒng)設(shè)計

1 真空系統(tǒng)的組成與設(shè)計概述

1.1 真空系統(tǒng)的形式與組成

1.1.1 真空系統(tǒng)的形式

1.1.2 真空系統(tǒng)的組成

1.2 真空機(jī)組

1.2.1 低真空抽氣機(jī)組

1.2.2 中真空抽氣機(jī)組

1.2.3 高真空抽氣機(jī)組

1.2.4 超高真空抽氣機(jī)組

1.3 典型真空系統(tǒng)

1.3.1 粗真空系統(tǒng)

1.3.2 低真空系統(tǒng)

1.3.3 中真空系統(tǒng)

1.3.4 高真空系統(tǒng)

1.3.5 超高真空系統(tǒng)

1.4 真空系統(tǒng)設(shè)計概述

1.4.1 真空系統(tǒng)設(shè)計的已知條件

1.4.2 真空系統(tǒng)設(shè)計計算的一般程序

1.4.3 真空系統(tǒng)設(shè)計的基本原則及注意事項

2 真空系統(tǒng)組成元件

3 真空密封連接

4 真空中氣體的流動狀態(tài)及判別

5 真空管路的流導(dǎo)計算

6 真空系統(tǒng)抽氣時間與壓力計算

10 真空系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計與清潔衛(wèi)生

11 真空系統(tǒng)的安裝調(diào)試與操作維修2100433B

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