微米加工與納米制造內(nèi)容簡介

《微米加工與納米制造》是微米/納米加工技術(shù)方面的一本優(yōu)秀著作，既有一定的理論深度，又有足夠的廣度，而且還有較高的可讀性。它較為系統(tǒng)地梳理了微米加工（特別是非硅基加工）技術(shù)以及納米加工手段，結(jié)合微流體、微慣性器件、納米傳感器等方面的典型案例，闡釋了這些技術(shù)的原理和特點，提出了特定問題的高效率解決方案，給出了工藝設(shè)計方面的指南，并對這些技術(shù)的發(fā)展走向做出了高屋建瓴的判斷。

Mark J Jackson哲學(xué)博士，現(xiàn)任美國Purdue大學(xué)機(jī)械工程專業(yè)副教授。他在工程學(xué)方面的研究始于1983年，那時他進(jìn)行了針對O.N.C.Part I考試的學(xué)習(xí)，而且修完了機(jī)械工程專業(yè)的頭一年的學(xué)徒訓(xùn)練課程。在以優(yōu)異的成績獲得國家普通學(xué)位并贏得I.C.I.的獎項后，他在英國Liverpool Polytechnic學(xué)院攻讀機(jī)械與制造工程學(xué)位，而且在此期間他先后為I.C.I Pharmaceuticals、Unilever Industries和Anglo Blackwells等公司短期工作。在Jack Schofield教授的指導(dǎo)下，他以“優(yōu)等”的成績獲得工程碩士學(xué)位，隨后又在Liverpool獲得了材料工程領(lǐng)域的哲學(xué)博士學(xué)位，專攻玻璃黏結(jié)磨削材料的微觀結(jié)構(gòu)—特性關(guān)系，導(dǎo)師是Benjamin Mills教授。

他隨后被Unicorn Abrasives公司（Saint—Gobain Abrasives集團(tuán)）的中心研發(fā)實驗室錄用，擔(dān)任材料技師，后來又升任技術(shù)經(jīng)理，負(fù)責(zé)在歐洲的產(chǎn)品開發(fā)和新業(yè)務(wù)的拓展，而且作為與大學(xué)間的聯(lián)絡(luò)官，負(fù)責(zé)與磨削工藝開發(fā)相關(guān)的項目管理。后來，Jackson博士成為英國劍橋大學(xué)Cavendish實驗室的研究員，與John Field教授，一起對金剛石的沖擊斷裂和摩擦學(xué)開展研究，并于1998年成為Liverpool大學(xué)的工程學(xué)方面的講師。

在Liverpool大學(xué)，Jackson博士開展了運(yùn)用機(jī)械刀具、激光光束和磨粒進(jìn)行微機(jī)械加工的研究。在Liverpool，他爭取到一系列研究項目資助，憑借所開發(fā)具有革新性的工藝流程，他于2001年11月與他人一道被英國工程與物理科學(xué)研究委員會委任為一所“創(chuàng)新制造技術(shù)中心”的管理者。2002年，他成為美國田納西科技大學(xué)（系美國Oak Ridge國家實驗室的聯(lián)系大學(xué)）的制造研究中心和電力研究中心的機(jī)械工程副教授和教授團(tuán)助理以及Oak Ridge國家實驗室的教授團(tuán)助理。Jackson博士同時是美國田納西科技大學(xué)的高校方程式大賽團(tuán)隊的學(xué)術(shù)指導(dǎo)。

2004年，他轉(zhuǎn)任美國Purdue大學(xué)機(jī)械工程技術(shù)系的機(jī)械工程副教授。Jackson博士在微米尺度金屬切削領(lǐng)域的材料特性、微/納米磨削機(jī)械加工和激光微機(jī)械加工等研究領(lǐng)域十分活躍。他還從事了新一代制造工藝和生物醫(yī)學(xué)工程技術(shù)的開發(fā)。

Jackson博士已經(jīng)主持、共同主持和管理了如下組織、機(jī)構(gòu)資助的項目：英國工程和物理科學(xué)研究委員會，英國倫敦皇家學(xué)會，英國皇家工程院，歐盟、英國國防部（倫敦），英國原子武器研究所，美國國家自然科學(xué)基金會，美國NASA，美國能源部（通過美國Oak Ridge 國家實驗室），位于田納西州Oak Ridge的Y12國家安全聯(lián)合體，以及多家產(chǎn)業(yè)公司。獲得研究經(jīng)費總額超過1千萬美元。Jackson 博士組織了多次會議，目前擔(dān)任國際表面工程大會的主席。他撰寫和共同撰寫了超過150篇出版物，發(fā)表于各存檔學(xué)報和同行評審的會議論文集中，他還擔(dān)任一系列同行評審學(xué)報的客座編輯。他還是近新成立的International Journal of Nanomanufacturing的總編。2100433B

隨著科技的發(fā)展，面向精密微機(jī)電器件的微細(xì)加工技術(shù)已經(jīng)成為各國研究的熱點。微細(xì)加工技術(shù)主要有聚焦離子束、電子束、激光微細(xì)加工、微細(xì)電火花加工以及微細(xì)電化學(xué)加工等。電化學(xué)加工的原理是利用電化學(xué)反應(yīng)去除工件材料，理論上可以達(dá)到離子級的加工精度，但由于存在雜散腐蝕、加工穩(wěn)定性差等缺陷，因此加工精度不夠高。將電化學(xué)加工應(yīng)用于微細(xì)加工必須提高定域蝕除能力，解決微能脈沖加工電源、工具電極制作以及加工狀態(tài)的檢測控制等問題 。