1、MEMS氣體流量傳感器:高精度,檢測(cè)流量范圍廣,適用于各種需求的流量計(jì)測(cè)。

2、MEMS壓力傳感器:性能偏差小的MEMS壓力傳感器。

3、MEMS非接觸溫度傳感器:對(duì)靜止人體也能檢測(cè),高靈敏度的人體感應(yīng)傳感器。

4、MEMS開(kāi)關(guān):高頻,小型,長(zhǎng)壽命的MEMS開(kāi)關(guān)。

MEMS傳感器造價(jià)信息

市場(chǎng)價(jià) 信息價(jià) 詢價(jià)
材料名稱 規(guī)格/型號(hào) 市場(chǎng)價(jià)
(除稅)
工程建議價(jià)
(除稅)
行情 品牌 單位 稅率 供應(yīng)商 報(bào)價(jià)日期
氨氮PH傳感器 XRP6714DK 查看價(jià)格 查看價(jià)格

南京新銳鵬

臺(tái) 13% 株洲中車機(jī)電科技有限公司
COD傳感器 XRP6602D 查看價(jià)格 查看價(jià)格

南京新銳鵬

臺(tái) 13% 株洲中車機(jī)電科技有限公司
氨氮PH傳感器 型號(hào):DNH1000 查看價(jià)格 查看價(jià)格

天健創(chuàng)新

13% 天健創(chuàng)新(北京)監(jiān)測(cè)儀表股份有限公司
SS傳感器 型號(hào):IDT1000 查看價(jià)格 查看價(jià)格

天健創(chuàng)新

13% 天健創(chuàng)新(北京)監(jiān)測(cè)儀表股份有限公司
COD傳感器 型號(hào):UVC1000 查看價(jià)格 查看價(jià)格

天健創(chuàng)新

13% 天健創(chuàng)新(北京)監(jiān)測(cè)儀表股份有限公司
SS傳感器 XRP7801D 查看價(jià)格 查看價(jià)格

南京新銳鵬

臺(tái) 13% 株洲中車機(jī)電科技有限公司
無(wú)磁發(fā)訊傳感器 NWM-HRI(配套WS系列水表) 查看價(jià)格 查看價(jià)格

寧波

臺(tái) 13% 寧波水表股份有限公司
磁發(fā)訊傳感器 HRI40-125(配套WPD系列水表) 查看價(jià)格 查看價(jià)格

寧波

臺(tái) 13% 寧波水表股份有限公司
材料名稱 規(guī)格/型號(hào) 除稅
信息價(jià)
含稅
信息價(jià)
行情 品牌 單位 稅率 地區(qū)/時(shí)間
臭氧傳感器 查看價(jià)格 查看價(jià)格

廣東2022年1季度信息價(jià)
噪聲傳感器 查看價(jià)格 查看價(jià)格

廣東2022年1季度信息價(jià)
噪聲傳感器 查看價(jià)格 查看價(jià)格

廣東2021年4季度信息價(jià)
噪聲傳感器 查看價(jià)格 查看價(jià)格

廣東2021年2季度信息價(jià)
臭氧傳感器 查看價(jià)格 查看價(jià)格

廣東2020年4季度信息價(jià)
臭氧傳感器 查看價(jià)格 查看價(jià)格

廣東2020年3季度信息價(jià)
噪聲傳感器 查看價(jià)格 查看價(jià)格

廣東2020年1季度信息價(jià)
噪聲傳感器 查看價(jià)格 查看價(jià)格

廣東2022年3季度信息價(jià)
材料名稱 規(guī)格/需求量 報(bào)價(jià)數(shù) 最新報(bào)價(jià)
(元)
供應(yīng)商 報(bào)價(jià)地區(qū) 最新報(bào)價(jià)時(shí)間
傾角傳感器 TH-INC-485,MEMS,精度0.057%%d,量程%%p15%%d,RS485通訊|48套 1 查看價(jià)格 南京埃爾喬億自控設(shè)備有限公司 全國(guó)   2020-05-04
傾角傳感器 TH-INC-485,MEMS,精度0.057°,量程±15°,RS485通訊|130套 2 查看價(jià)格 無(wú)錫信捷電氣股份有限公司 廣東  中山市 2020-04-23
CO傳感器 CO傳感器|1個(gè) 3 查看價(jià)格 廣州市熹尚科技設(shè)備有限公司 廣東   2021-11-05
CO傳感器 CO傳感器|1個(gè) 1 查看價(jià)格 深圳創(chuàng)維智慧科技有限公司 廣東   2021-11-03
氫氣傳感器 氫氣傳感器|4個(gè) 3 查看價(jià)格 深圳市華慧能節(jié)能科技有限公司 廣東   2021-08-31
土壤傳感器 土壤傳感器|1臺(tái) 1 查看價(jià)格 廣州市智雨節(jié)水科技有限公司 全國(guó)   2020-08-17
CO傳感器 CO 傳感器|1個(gè) 1 查看價(jià)格 上海格瑞特科技實(shí)業(yè)有限公司 全國(guó)   2019-09-03
傳感器壓力傳感器,511 1.名稱:傳感器2.規(guī)格:壓力傳感器,511|6套 3 查看價(jià)格 北京金博林科技有限公司 全國(guó)   2020-06-22

1、微機(jī)械壓力傳感器

微機(jī)械壓力傳感器是最早開(kāi)始研制的微機(jī)械產(chǎn)品,也是微機(jī)械技術(shù)中最成熟、最早開(kāi)始產(chǎn)業(yè)化的產(chǎn)品。從信號(hào)檢測(cè)方式來(lái)看,微機(jī)械壓力傳感器分為壓阻式和電容式兩類,分別以體微機(jī)械加工技術(shù)和犧牲層技術(shù)為基礎(chǔ)制造。從敏感膜結(jié)構(gòu)來(lái)看,有圓形、方形、矩形、E形等多種結(jié)構(gòu)。壓阻式壓力傳感器的精度可達(dá)0.05%~0.01%,年穩(wěn)定性達(dá)0.1%/F.S,溫度誤差為0.0002%,耐壓可達(dá)幾百兆帕,過(guò)壓保護(hù)范圍可達(dá)傳感器量程的20倍以上,并能進(jìn)行大范圍下的全溫補(bǔ)償。現(xiàn)階段微機(jī)械壓力傳感器的主要發(fā)展方向有以下幾個(gè)方面。

(1)將敏感元件與信號(hào)處理、校準(zhǔn)、補(bǔ)償、微控制器等進(jìn)行單片集成,研制智能化的壓力傳感器。

(2)進(jìn)一步提高壓力傳感器的靈敏度,實(shí)現(xiàn)低量程的微壓傳感器。

(3)提高工作溫度,研制高低溫壓力傳感器。

(4)開(kāi)發(fā)諧振式壓力傳感器。

2、微加速度傳感器

硅微加速度傳感器是繼微壓力傳感器之后第二個(gè)進(jìn)入市場(chǎng)的微機(jī)械傳感器。其主要類型有壓阻式、電容式、力平衡式和諧振式。其中最具有吸引力的是力平衡加速度計(jì),其典型產(chǎn)品是Kuehnel等人在1994年報(bào)道的AGXL50型。

國(guó)內(nèi)在微加速度傳感器的研制方面也作了大量的工作,如西安電子科技大學(xué)研制的壓阻式微加速度傳感器和清華大學(xué)微電子所開(kāi)發(fā)的諧振式微加速度傳感器。后者采用電阻熱激勵(lì)、壓阻電橋檢測(cè)的方式,其敏感結(jié)構(gòu)為高度對(duì)稱的4角支撐質(zhì)量塊形式,在質(zhì)量塊4邊與支撐框架之間制作了4個(gè)諧振梁用于信號(hào)檢測(cè)。

3、微機(jī)械陀螺

角速度一般是用陀螺儀來(lái)進(jìn)行測(cè)量的。傳統(tǒng)的陀螺儀是利用高速轉(zhuǎn)動(dòng)的物體具有保持其角動(dòng)量的特性來(lái)測(cè)量角速度的。這種陀螺儀的精度很高,但它的結(jié)構(gòu)復(fù)雜,使用壽命短,成本高,一般僅用于導(dǎo)航方面,而難以在一般的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)中應(yīng)用。實(shí)際上,如果不是受成本限制,角速度傳感器可在諸如汽車牽引控制系統(tǒng)、攝象機(jī)的穩(wěn)定系統(tǒng)、醫(yī)用儀器、軍事儀器、運(yùn)動(dòng)機(jī)械、計(jì)算機(jī)慣性鼠標(biāo)、軍事等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用前景。常見(jiàn)的微機(jī)械角速度傳感器有雙平衡環(huán)結(jié)構(gòu),懸臂梁結(jié)構(gòu)、音叉結(jié)構(gòu)、振動(dòng)環(huán)結(jié)構(gòu)等。但是,實(shí)現(xiàn)的微機(jī)械陀螺的精度還不到10°/h,離慣性導(dǎo)航系統(tǒng)所需的0.1°/h相差尚遠(yuǎn)。

4、微流量傳感器

微流量傳感器不僅外形尺寸小,能達(dá)到很低的測(cè)量量級(jí),而且死區(qū)容量小,響應(yīng)時(shí)間短,適合于微流體的精密測(cè)量和控制。國(guó)內(nèi)外研究的微流量傳感器依據(jù)工作原理可分為熱式(包括熱傳導(dǎo)式和熱飛行時(shí)間式)、機(jī)械式和諧振式3種。清華大學(xué)精密儀器系設(shè)計(jì)的閥片式微流量傳感器通過(guò)閥片將流量轉(zhuǎn)換為梁表面彎曲應(yīng)力,再由集成在閥片上的壓敏電橋檢測(cè)出流量信號(hào)。該傳感器的芯片尺寸為3.5mm×3.5mm,在10ml~200ml/min的氣體流量下,線性度優(yōu)于5%。

5、微氣體傳感器

根據(jù)制作材料的不同,微氣敏傳感器分為硅基氣敏傳感器和硅微氣敏傳感器。其中前者以硅為襯底,敏感層為非硅材料,是當(dāng)前微氣敏傳感器的主流。微氣體傳感器可滿足人們對(duì)氣敏傳感器集成化、智能化、多功能化等要求。例如許多氣敏傳感器的敏感性能和工作溫度密切相關(guān),因而要同時(shí)制作加熱元件和溫度探測(cè)元件,以監(jiān)測(cè)和控制溫度。MEMS技術(shù)很容易將氣敏元件和溫度探測(cè)元件制作在一起,保證氣體傳感器優(yōu)良性能的發(fā)揮。

諧振式氣敏傳感器不需要對(duì)器件進(jìn)行加熱,且輸出信號(hào)為頻率量,是硅微氣敏傳感器發(fā)展的重要方向之一。北京大學(xué)微電子所提出的1種微結(jié)構(gòu)氣體傳感器,由硅梁、激振元件、測(cè)振元件和氣體敏感膜組成。硅梁被置于被測(cè)氣體中后,表面的敏感膜吸附氣體分子而使梁的質(zhì)量增加,使梁的諧振頻率減小。這樣通過(guò)測(cè)量硅梁的諧振頻率可得到氣體的濃度值。對(duì)NO2氣體濃度的檢測(cè)實(shí)驗(yàn)表明,在0×10~1×10的范圍內(nèi)有較好的線性,濃度檢測(cè)極限達(dá)到1×10,當(dāng)工作頻率是19kHz時(shí),靈敏度是1.3Hz/10。德國(guó)的M.Maute等人在SiNx懸臂梁表面涂敷聚合物PDMS來(lái)檢測(cè)己烷氣體,得到-0.099Hz/10的靈敏度。

6、微機(jī)械溫度傳感器

微機(jī)械傳感器與傳統(tǒng)的傳感器相比,具有體積小、重量輕的特點(diǎn),其固有熱容量?jī)H為10J/K~10J/K,使其在溫度測(cè)量方面具有傳統(tǒng)溫度傳感器不可比擬的優(yōu)勢(shì)。開(kāi)發(fā)了1種硅/二氧化硅雙層微懸臂梁溫度傳感器?;诠韬投趸鑳煞N材料熱膨脹系數(shù)的差異,不同溫度下梁的撓度不同,其形變可通過(guò)位于梁根部的壓敏電橋來(lái)檢測(cè)。其非線性誤差為0.9%,遲滯誤差為0.45%,重復(fù)性誤差為1.63%,精度為1.9%。

7、其他微機(jī)械傳感器

利用微機(jī)械加工技術(shù)還可以實(shí)現(xiàn)其他多種傳感器,例如瑞士Chalmers大學(xué)的PeterE等人設(shè)計(jì)的諧振式流體密度傳感器,浙江大學(xué)研制的力平衡微機(jī)械真空傳感器,中科院合肥智能所研制的振梁式微機(jī)械力敏傳感器等 。

1.應(yīng)用于醫(yī)療

MEMS傳感器應(yīng)用于無(wú)創(chuàng)胎心檢測(cè),檢測(cè)胎兒心率是一項(xiàng)技術(shù)性很強(qiáng)的工作,由于胎兒心率很快,在每分鐘l20~160次之間,用傳統(tǒng)的聽(tīng)診器甚至只有放大作用的超聲多普勒儀,用人工計(jì)數(shù)很難測(cè)量準(zhǔn)確。而具有數(shù)字顯示功能的超聲多普勒胎心監(jiān)護(hù)儀,價(jià)格昂貴,僅為少數(shù)大醫(yī)院使用,在中、小型醫(yī)院及廣大的農(nóng)村地區(qū)無(wú)法普及。此外,超聲振動(dòng)波作用于胎兒,會(huì)對(duì)胎兒產(chǎn)生很大的不利作用。盡管檢測(cè)劑量很低,也屬于有損探測(cè)范疇,不適于經(jīng)常性、重復(fù)性的檢查及家庭使用。

基于VTI公司的MEMS加速度傳感器,提出一種無(wú)創(chuàng)胎心檢測(cè)方法,研制出一種簡(jiǎn)單易學(xué)、直觀準(zhǔn)確的介于胎心聽(tīng)診器和多普勒胎兒監(jiān)護(hù)儀之間的臨床診斷和孕婦自檢的醫(yī)療輔助儀器。

通過(guò)加速度傳感器將胎兒心率轉(zhuǎn)換成模擬電壓信號(hào),經(jīng)前置放大用的儀器放大器實(shí)現(xiàn)差值放大。然后進(jìn)行濾波等一系列中間信號(hào)處理,用A/D轉(zhuǎn)換器將模擬電壓信號(hào)轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號(hào)。通過(guò)光隔離器件輸入到單片機(jī)進(jìn)行分析處理,最后輸出處理結(jié)果。

基于MEMS加速度傳感器設(shè)計(jì)的胎兒心率檢測(cè)儀在適當(dāng)改進(jìn)后能夠以此為終端,做一個(gè)遠(yuǎn)程胎心監(jiān)護(hù)系統(tǒng)。醫(yī)院端的中央信號(hào)采集分析監(jiān)護(hù)主機(jī)給出自動(dòng)分析結(jié)果,醫(yī)生對(duì)該結(jié)果進(jìn)行診斷,如果有問(wèn)題及時(shí)通知孕婦到醫(yī)院來(lái)。該技術(shù)有利于孕婦隨時(shí)檢查胎兒的狀況,有利于胎兒和孕婦的健康。

2.應(yīng)用在汽車電子

MEMS壓力傳感器主要應(yīng)用在測(cè)量氣囊壓力、燃油壓力、發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)油壓力、進(jìn)氣管道壓力及輪胎壓力。這種傳感器用單晶硅作材料,以采用MEMS技術(shù)在材料中間制作成力敏膜片,然后在膜片上擴(kuò)散雜質(zhì)形成四只應(yīng)變電阻,再以惠斯頓電橋方式將應(yīng)變電阻連接成電路,來(lái)獲得高靈敏度。車用MEMS壓力傳感器有電容式、壓阻式、差動(dòng)變壓器式、聲表面波式等幾種常見(jiàn)的形式。而MEMS加速度計(jì)的原理是基于牛頓的經(jīng)典力學(xué)定律,通常由懸掛系統(tǒng)和檢測(cè)質(zhì)量組成,通過(guò)微硅質(zhì)量塊的偏移實(shí)現(xiàn)對(duì)加速度的檢測(cè),主要用于汽車安全氣囊系統(tǒng)、防滑系統(tǒng)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)和防盜系統(tǒng)等,除了有電容式、壓阻式以外,MEMS加速度計(jì)還有壓電式、隧道電流型、諧振式和熱電偶式等形式。其中,電容式MEMS加速度計(jì)具有靈敏度高、受溫度影響極小等特點(diǎn),是MEMS微加速度計(jì)中的主流產(chǎn)品。微陀螺儀是一種角速率傳感器,主要用于汽車導(dǎo)航的GPS信號(hào)補(bǔ)償和汽車底盤控制系統(tǒng),主要有振動(dòng)式、轉(zhuǎn)子式等幾種。應(yīng)用最多的屬于振動(dòng)陀螺儀,它利用單晶硅或多晶硅的振動(dòng)質(zhì)量塊在被基座帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生的哥氏效應(yīng)來(lái)感測(cè)角速度。例如汽車在轉(zhuǎn)彎時(shí),系統(tǒng)通過(guò)陀螺儀測(cè)量角速度來(lái)指示方向盤的轉(zhuǎn)動(dòng)是否到位,主動(dòng)在內(nèi)側(cè)或者外側(cè)車輪上加上適當(dāng)?shù)闹苿?dòng)以防止汽車脫離車道,通常,它與低加速度計(jì)一起構(gòu)成主動(dòng)控制系統(tǒng)。

3.應(yīng)用于運(yùn)動(dòng)追蹤系統(tǒng)

在運(yùn)動(dòng)員的日常訓(xùn)練中,MEMS傳感器可以用來(lái)進(jìn)行3D人體運(yùn)動(dòng)測(cè)量,對(duì)每一個(gè)動(dòng)作進(jìn)行記錄,教練們對(duì)結(jié)果分析,反復(fù)比較,以便提高運(yùn)動(dòng)員的成績(jī)。隨著MEMS技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展,MEMS傳感器的價(jià)格也會(huì)隨著降低,這在大眾健身房中也可以廣泛應(yīng)用。

在滑雪方面,3D運(yùn)動(dòng)追蹤中的壓力傳感器、加速度傳感器、陀螺儀以及GPS可以讓使用者獲得極精確的觀察能力,除了可提供滑雪板的移動(dòng)數(shù)據(jù)外,還可以記錄使用者的位置和距離。在沖浪方面也是如此,安裝在沖浪板上的3D運(yùn)動(dòng)追蹤,可以記錄海浪高度、速度、沖浪時(shí)間、漿板距離、水溫以及消耗的熱量等信息。

4.應(yīng)用在手機(jī)拍照領(lǐng)域

在MEMS Drive出現(xiàn)之前,手機(jī)攝像頭主要由音圈馬達(dá)移動(dòng)鏡頭組的方式實(shí)現(xiàn)防抖(簡(jiǎn)稱鏡頭防抖技術(shù)),受到很大的局限。而另一個(gè)在市場(chǎng)上較高端的防抖技術(shù):多軸防抖,則是利用移動(dòng)圖像傳感器(Image Sensor)補(bǔ)償抖動(dòng),但由于這個(gè)技術(shù)體積龐大、耗電量超出手機(jī)載荷,一直無(wú)法在手機(jī)上應(yīng)用。

憑著微機(jī)電在體積和功耗上的突破,最新技術(shù)MEMS Drive類似一張貼在圖像傳感器背面的平面馬達(dá),帶動(dòng)圖像傳感器在三個(gè)旋轉(zhuǎn)軸移動(dòng)。MEMS Drive 的防抖技術(shù)是透過(guò)陀螺儀感知拍照過(guò)程中的瞬間抖動(dòng),依靠精密算法,計(jì)算出馬達(dá)應(yīng)做的移動(dòng)幅度并做出快速補(bǔ)償。這一系列動(dòng)作都要在百分之一秒內(nèi)做完,你得到的圖像才不會(huì)因?yàn)槎秳?dòng)模糊掉。

手機(jī)拍照帶給我們隨時(shí)隨地的便捷,但是面對(duì)復(fù)雜的環(huán)境、多樣的拍照?qǐng)鼍埃耸峙恼沼袩o(wú)法避免的抖動(dòng),像是走著跑著躺著拍照,或者把手伸長(zhǎng)、手握自拍桿自拍,無(wú)論哪種抖動(dòng),憑借MEMS DRIVE馬達(dá)獨(dú)有的五軸防抖,和快速、精準(zhǔn)控制的技術(shù)優(yōu)勢(shì),都能呈現(xiàn)出更清晰更銳麗的圖片 。

MEMS傳感器分類常見(jiàn)問(wèn)題

  • 熱電偶傳感器分類有哪些?

    熱電偶:一種測(cè)溫度的傳感器,與熱電阻一樣都是溫度傳感器,但是他和熱電阻的區(qū)別主要在于:   第一,信號(hào)的性質(zhì),熱電阻本身是電阻,溫度的變化,使電阻產(chǎn)生正的或者是負(fù)的阻值變化;而熱耦...

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  • MEMS傳感器發(fā)展?fàn)顩r

    “十五”期間,中科院組織全院近20家研究所開(kāi)展聯(lián)合攻關(guān)。在重要傳感器件方面,自主開(kāi)發(fā)了MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))振動(dòng)傳感器、MEMS聲響傳感器、MEMS紅外傳感器、光纖傳感器、聲陣列傳感器,形成了以MEM...

中國(guó)在?MEMS?傳感器領(lǐng)域的研究較晚,但已經(jīng)成為不可或缺的力量,中國(guó)的部分專利權(quán)的創(chuàng)新主體協(xié)同格局前提下,加大政府科技資金投入不但可以消解技術(shù)創(chuàng)新發(fā)展中的資金阻滯,又有助于引導(dǎo)企業(yè)或單位技術(shù)創(chuàng)新意識(shí),從而提高我國(guó)創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)效率,促進(jìn)經(jīng)濟(jì)快速而穩(wěn)健的發(fā)展 。

MEMS傳感器分類文獻(xiàn)

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迅爾儀表 flow-meters.cn 流量傳感器分類 一、葉片式 葉片式空氣流量傳感器的結(jié)構(gòu)、工作原理及檢測(cè) 傳統(tǒng)的波許 L 型汽油噴射系統(tǒng)及一些中檔車型采用這種葉片式空氣流量傳感器。其結(jié) 構(gòu)如圖 1 所示,由空氣流量計(jì)和電位計(jì)兩部 分組成??諝饬髁坑?jì)在進(jìn)氣通道內(nèi)有一個(gè)可繞軸擺動(dòng)的旋轉(zhuǎn)翼片(測(cè)量片),如圖 2 所示,作用在軸上的卷簧可使測(cè)量片關(guān)閉進(jìn)氣通路。 發(fā)動(dòng)機(jī)工作時(shí), 進(jìn)氣氣流經(jīng)過(guò)空氣流量 計(jì)推動(dòng)測(cè)量片偏轉(zhuǎn), 使其開(kāi)啟。 測(cè)量片開(kāi)啟角度的大小取決于進(jìn)氣氣流對(duì)測(cè)量片的推力與測(cè) 量片軸上卷簧彈力的平衡狀況。 進(jìn)氣量的大小由駕駛員操縱節(jié)氣門來(lái)改變。 進(jìn)氣量愈大, 氣 流對(duì)測(cè)量片的推力愈大, 測(cè)量片的開(kāi)啟角度也就愈大。 在測(cè)量片軸上連著一個(gè)電位計(jì), 如圖 3 所示。電位計(jì)的滑動(dòng)臂與測(cè)量片同軸同步轉(zhuǎn)動(dòng),把測(cè)量片開(kāi)啟角度的變化(即進(jìn)氣量的變 化)轉(zhuǎn)換為電阻值的變化。電位計(jì)通過(guò)導(dǎo)線、連接器與 E

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MEMS壓力傳感器是具有電源、接口電路、執(zhí)行器、微型傳感器和信號(hào)處理的微型的機(jī)電系統(tǒng)。它可以使用在制作工藝和電路設(shè)計(jì)上,低成本而高精度地進(jìn)行大量的生產(chǎn)。其實(shí)傳統(tǒng)的壓力傳感器是在當(dāng)金屬?gòu)椥泽w受到外力的作用而導(dǎo)致變形的時(shí)候,經(jīng)過(guò)機(jī)械量的彈性的變形,然后待電量轉(zhuǎn)換之后再輸出,因此,MEMS壓力傳感器的優(yōu)越性有很多,尺寸很小,性價(jià)比很高。它主要分為兩種:硅電容式和硅壓阻式。

1.應(yīng)用于汽車行業(yè)

MEMS壓力傳感器在汽車中的一個(gè)新應(yīng)用是傳動(dòng)系統(tǒng)壓力感測(cè),通常用于自動(dòng)裝置之中,但也用于新型雙離合器傳動(dòng)系統(tǒng)。德國(guó)廠商推出了一款MEMS解決方案,使用油來(lái)保護(hù)硅薄膜,使其可以最高耐受70巴的壓力。博世幾年前也曾為MEMS壓力傳感器帶來(lái)巨大變化,當(dāng)時(shí)使用的是多孔硅,帶來(lái)了高度可靠的MEMS器件,這些器件已用于目前的側(cè)面氣囊等應(yīng)用之中。

2.應(yīng)用于醫(yī)療市場(chǎng)

壓力傳感器主要充當(dāng)外科手術(shù)使用的一次性低成本導(dǎo)管。但它們也用于昂貴的設(shè)備之中,在連續(xù)氣道正壓通氣(CPAC)機(jī)中感測(cè)壓力與差流。

3.應(yīng)用于工業(yè)領(lǐng)域

MEMS壓力傳感器的主要應(yīng)用包括采暖通風(fēng)及空調(diào)(HVAC)、水平面測(cè)量、各種工業(yè)過(guò)程與控制應(yīng)用。例如,除了精確的高度氣壓測(cè)量,飛機(jī)使用傳感器監(jiān)測(cè)引擎、襟翼等其它部件。 解讀詞條背后的知識(shí)

    • 愛(ài)集微APP 半導(dǎo)體投資聯(lián)盟官方帳號(hào)

      十年專注技術(shù)創(chuàng)新 紐迪瑞成為柔性MEMS壓力傳感器先行者

      集微網(wǎng)消息 自從蘋果2015年在iPhone 6s等產(chǎn)品中引入壓感觸控技術(shù)之后,它便成為消費(fèi)電子品牌商追逐的創(chuàng)新熱點(diǎn)。很多終端品牌希望能夠?yàn)橛脩魩?lái)多樣化的交互產(chǎn)品,而紐迪瑞的柔性MEMS壓感觸控技術(shù)正好可以滿足這個(gè)市場(chǎng)需求。紐迪瑞創(chuàng)始人李灝博士...

      2020-09-300
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      Bourns推出新型MEMS壓力傳感器 可測(cè)量超低壓范圍

      導(dǎo)讀:近日,電子元件的領(lǐng)先制造商和供應(yīng)商Bourns推出了一種基于MEMS的新型環(huán)境壓力傳感器模型BPS125,該模型可提供高精度和超低壓范圍功能。Bourns的BPS125型傳感器可以測(cè)量250至500 Pa的壓力,適合低壓測(cè)量應(yīng)用,例如便攜式制氧機(jī)、霧化器、CPAP設(shè)備...

      2020-02-280

賽峰Colibrys提供高端電容式加速度計(jì), 誕生于瑞士微技術(shù)MEMS技術(shù)先驅(qū)的中心,Safran

Colibrys提供高端電容式加速度計(jì)。這些傳感器設(shè)計(jì)精確,具有高性能和長(zhǎng)期可靠性。Safran Colibrys不僅是一個(gè)高端傳感器制造商,也是那些要求持續(xù)提供高科技奇跡公司的成熟合作伙伴。質(zhì)量塊技術(shù)是Safran Colibrys關(guān)鍵區(qū)別之一,它比任何其它電容技術(shù)都更加穩(wěn)定和精確。

西安精準(zhǔn)測(cè)控是COLIBRYS授權(quán)代理商,雙方有超過(guò)十年的合作歷史。西安精準(zhǔn)測(cè)控?fù)碛凶灾魃a(chǎn)研發(fā)的陀螺儀傳感器、加速度計(jì)、傾角傳感器、磁羅盤等產(chǎn)品,主要為用戶提供慣性導(dǎo)航系統(tǒng)、組合導(dǎo)航系統(tǒng)、IMU、航姿系統(tǒng)等

新型MEMS加速度計(jì)ms1000

MS1000是專為先進(jìn)慣性應(yīng)用而設(shè)計(jì),是市場(chǎng)上同類產(chǎn)品中最佳的開(kāi)環(huán)加速度計(jì),它實(shí)現(xiàn)了創(chuàng)新的微機(jī)電設(shè)計(jì)和電子元件,在長(zhǎng)期零偏和比例因子重復(fù)性,運(yùn)行中零偏穩(wěn)定性和振動(dòng)校正誤差(VRE)方面,釋放出無(wú)與倫比的性能。

戰(zhàn)術(shù)級(jí)加速度計(jì)

特色應(yīng)用

長(zhǎng)期零偏重復(fù)性 工作溫度

1.2 mg (+/- 10 g, typ.) 從 -40° 到 +125°C

模擬差分輸出 9x9 mm2 LCC20 封裝

具有自檢功能 全密封

TS1000T高溫MEMS加速度計(jì)

特色應(yīng)用

高溫量程 低噪聲

從 -40° 到 + 175°C < 7 μg/Sqrt Hz,對(duì)于 +/- 2 g (平均值)

優(yōu)秀的零偏殘余建模誤差 9x9 mm2 LCC20 封裝

< ± 0.6 mg for +/- 2g range 全密封

VS1000振動(dòng)傳感器

低噪聲 重復(fù)高沖擊性

< 7 μg/Sqrt Hz 平均值 ,對(duì)于 +/- 2g (平均值) 智能過(guò)載系統(tǒng)強(qiáng)化 模擬差分輸出 9x9 mm2 LCC20 封裝

具有溫度和自檢功能 全密封

特性應(yīng)用

低噪聲 重復(fù)高沖擊性

< 7 μg/Sqrt Hz 平均值 ,對(duì)于 +/- 2g (平均值) 智能過(guò)載系統(tǒng)強(qiáng)化

模擬差分輸出 9x9 mm2 LCC20 封裝

具有溫度和自檢功能 全密封

? 轉(zhuǎn)向架安全監(jiān)控 ? 汽車檢測(cè)(乘坐質(zhì)量) ? 機(jī)車車輛疲勞分析 ? 軌道監(jiān)控系統(tǒng)

? 測(cè)試和測(cè)量 ? 振動(dòng)監(jiān)測(cè)儀器 ? 結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測(cè) ? 預(yù)防性維護(hù)

MS9000 高性能MEMS 加速度計(jì)

操作溫度 測(cè)試范圍

從 -55° 到 + 125° C +/- 2 到 +/- 200g

模擬比率輸出 9x9 mm2 LCC20 封裝

具有嵌入的溫度傳感器 全密封

特性應(yīng)用

操作溫度 測(cè)試范圍

從 -55° 到 + 125° C +/- 2 到 +/- 200g

模擬比率輸出 9x9 mm2 LCC20 封裝 具有嵌入的溫度傳感器 全密封

特性應(yīng)用

慣性測(cè)量單元(IMU) ? 航位推算系統(tǒng) ? 列車定位 ? 武器穩(wěn)定性 ? 尋北

HS8000 高性能MEMS 加速度計(jì)

高沖擊MEMS加速度計(jì)

非常高的抗沖擊性 操作溫度

高達(dá) 20’000g 從 -55° 到 + 125°C

優(yōu)秀的零偏穩(wěn)定性 14x14 mm2 LCC48 封裝

< ± 20 mg (包括后炮硬震: 20’000g) 全密封

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