中文名 | 高真空蒸發(fā)系統(tǒng) | 產(chǎn)????地 | 中國臺(tái)灣 |
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學(xué)科領(lǐng)域 | 物理學(xué)、電子與通信技術(shù)、材料科學(xué) | 啟用日期 | 2017年9月28日 |
所屬類別 | 工藝試驗(yàn)儀器 > 電子工藝實(shí)驗(yàn)設(shè)備 > 半導(dǎo)體集成電路工藝實(shí)驗(yàn)設(shè)備 |
高真空電子束蒸發(fā)鍍膜儀利用經(jīng)過磁場偏轉(zhuǎn)的高能量電子束對(duì)蒸發(fā)物料進(jìn)行電子加熱,蒸發(fā)材料揮發(fā)后沉積到樣品表面,沉積成薄膜材料。 該設(shè)備可用于Ti、Au的高質(zhì)量薄膜的制備,廣泛應(yīng)用于科學(xué)研究與半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。 2100433B
電子束蒸發(fā)源:8kW,2MHz 晶圓尺寸:最大6英寸 真空度:10E-7Torr 蒸發(fā)物料:Ti、Au等 典型沉積速率:0.1-10A/s 樣品臺(tái)最大傾斜角:±45° 樣品臺(tái)工作距離:40-60cm。
有很多原因,看一下是不是漏了(漏氣)、擴(kuò)散泵有沒有反油之類的!還有多久沒保養(yǎng)了,得保養(yǎng)一下!佛欣提供本內(nèi)容
漏氣,高真空泵該維護(hù),產(chǎn)品放氣量大
高真空蝶閥價(jià)格在:700元到1600元之間;電動(dòng)高真空蝶閥采用回轉(zhuǎn)型電動(dòng)、電子調(diào)節(jié)式閥門驅(qū)動(dòng)裝置,可以通過外接電源的切換(用手動(dòng)轉(zhuǎn)位開關(guān)或電腦控制)或外部輸入信號(hào),來實(shí)現(xiàn)閥門開、關(guān)或中間位置的控制,從...
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評(píng)分: 4.8
真空蒸發(fā)鍍膜是生產(chǎn)建筑幕墻玻璃常用的一種方法,為保證膜層附著力等各項(xiàng)性能,合理的工藝流程是必要的。結(jié)合生產(chǎn)實(shí)際,對(duì)有關(guān)的工藝進(jìn)行了詳細(xì)的分析,并給出了一些典型的工藝參數(shù)
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評(píng)分: 4.6
QC小組成員針對(duì)梅山水道一期工程\"真空預(yù)壓抽真空施工效率低\"的問題設(shè)立目標(biāo)值。靈活運(yùn)用QC工具找出問題癥結(jié),用因果關(guān)聯(lián)圖分析原因,合理選用PDPC預(yù)案及正交試驗(yàn)法,最終提高了真空預(yù)壓抽真空施工效率,完成了目標(biāo)值。
質(zhì)譜計(jì)必須在高真空下才能工作。用以取得所需真空度的閥泵系統(tǒng),一般由前級(jí)泵(常用機(jī)械泵)和油擴(kuò)散泵或分子渦輪泵等組成。擴(kuò)散泵能使離子源保持在10~10毫米汞柱的真空度。有時(shí)在分析器中還有一只擴(kuò)散泵,能維持10~10毫米汞柱的真空度。
腔室本底真空優(yōu)于5x10-8torr;4 個(gè)7cc的蒸發(fā)坩堝;2個(gè)熱蒸發(fā)電極。
(1)一級(jí)蒸發(fā)冷卻系統(tǒng)
我國有一些地區(qū)夏季空調(diào)室外計(jì)算干、濕球溫度不高,用直接蒸發(fā)對(duì)室外空氣進(jìn)行冷卻,冷卻后的狀態(tài)可以達(dá)到一般舒適性空調(diào)的送風(fēng)要求。
(2)兩級(jí)蒸發(fā)冷卻系統(tǒng)
室外空氣先經(jīng)間接冷卻處理后在進(jìn)行直接蒸發(fā)冷卻,以獲得溫度和含濕量均低的送風(fēng)狀態(tài)。
(3)三級(jí)蒸發(fā)冷卻系統(tǒng)
第一級(jí)間接蒸發(fā)冷卻——室外空氣用冷卻塔的冷水通過空氣冷卻器來冷卻。第二級(jí)為間接蒸發(fā)冷卻。第三級(jí)為直接蒸發(fā)冷卻。
(1)冷卻新風(fēng)
(2)制取空調(diào)冷水