電子束蒸發(fā)源:8kW,2MHz 晶圓尺寸:最大6英寸 真空度:10E-7Torr 蒸發(fā)物料:Ti、Au等 典型沉積速率:0.1-10A/s 樣品臺最大傾斜角:±45° 樣品臺工作距離:40-60cm。
高真空電子束蒸發(fā)鍍膜儀利用經過磁場偏轉的高能量電子束對蒸發(fā)物料進行電子加熱,蒸發(fā)材料揮發(fā)后沉積到樣品表面,沉積成薄膜材料。 該設備可用于Ti、Au的高質量薄膜的制備,廣泛應用于科學研究與半導體制造領域。 2100433B
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評分: 4.8
真空蒸發(fā)鍍膜是生產建筑幕墻玻璃常用的一種方法,為保證膜層附著力等各項性能,合理的工藝流程是必要的。結合生產實際,對有關的工藝進行了詳細的分析,并給出了一些典型的工藝參數(shù)
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評分: 4.6
QC小組成員針對梅山水道一期工程\"真空預壓抽真空施工效率低\"的問題設立目標值。靈活運用QC工具找出問題癥結,用因果關聯(lián)圖分析原因,合理選用PDPC預案及正交試驗法,最終提高了真空預壓抽真空施工效率,完成了目標值。
質譜計必須在高真空下才能工作。用以取得所需真空度的閥泵系統(tǒng),一般由前級泵(常用機械泵)和油擴散泵或分子渦輪泵等組成。擴散泵能使離子源保持在10~10毫米汞柱的真空度。有時在分析器中還有一只擴散泵,能維持10~10毫米汞柱的真空度。
腔室本底真空優(yōu)于5x10-8torr;4 個7cc的蒸發(fā)坩堝;2個熱蒸發(fā)電極。
(1)一級蒸發(fā)冷卻系統(tǒng)
我國有一些地區(qū)夏季空調室外計算干、濕球溫度不高,用直接蒸發(fā)對室外空氣進行冷卻,冷卻后的狀態(tài)可以達到一般舒適性空調的送風要求。
(2)兩級蒸發(fā)冷卻系統(tǒng)
室外空氣先經間接冷卻處理后在進行直接蒸發(fā)冷卻,以獲得溫度和含濕量均低的送風狀態(tài)。
(3)三級蒸發(fā)冷卻系統(tǒng)
第一級間接蒸發(fā)冷卻——室外空氣用冷卻塔的冷水通過空氣冷卻器來冷卻。第二級為間接蒸發(fā)冷卻。第三級為直接蒸發(fā)冷卻。
(1)冷卻新風
(2)制取空調冷水