垂直退火爐技術指標

8inch硅晶圓高溫氧化與SOI晶圓高溫加固；工作溫度：600~1200 ℃；恒溫區(qū)長度：860 mm；恒溫區(qū)控溫精度：±1℃；升降溫速度：max：5 ℃/min；氮氣（大流量）：Max：30 SLM(升/分鐘); 氮氣（小流量）： Max：300 SCCM(毫升/分鐘)；氧氣（大流量）：Max：20 SLM(升/分鐘)；氧氣（小流量）： Max：1000 SCCM(毫升/分鐘)；氫氣： Max：20 SLM(升/分鐘)；Trans_LC Carrier： 氮氣(1 SLM)(升/分鐘)；氧化層均勻性：干氧300 ?,1000 ?,1500 ?2%；濕氧0.5 μm,1.0 μm&2.0 μm2%；金屬要求： Cu/Cr/Fe/Ni/Al/Zn/Na/Ca5E10 atmos/CM2；顆粒要求：Particle 30ea (0.16μm) per wafer。

用于8inch硅晶圓高溫氧化與SOI晶圓高溫加固；工作溫度：600~1200 ℃；恒溫區(qū)控溫精度：±1℃；升降溫速度：max：5 ℃/min；可通入氮氣、氧氣、氫氣： 、Trans_LC Carrier等工藝氣體；氧化層均勻性：干氧、濕氧氧化層均優(yōu)于2%；表面金屬5E10 atmos/CM2；表面顆粒：Particle 30ea (0.16μm) per wafer。 2100433B

退火爐按熱源分類主要有電熱爐、燃煤退火爐、燃油退火爐、天然氣退火爐、煤氣退火爐等，其中以自備煤氣發(fā)生爐所產煤氣退火爐應用最廣泛。煤氣退火窯減去了燃燒室，直接利用煤氣燒嘴在加熱室噴射燃燒。為了降低能耗，煤氣退火窯往往配有換熱系統(tǒng)，將空氣轉換為助燃熱風進行煤氣的助燃。

熱處理爐分為退火爐、淬火爐、回火爐、正火爐、調質爐，主要用于大型碳鋼、合金鋼零件的退火；表面淬火件回火；焊件消除應力退火、時效等熱處理工藝。加熱方式有電加熱、燃油、燃氣、燃煤、熱風循環(huán)。退火爐是一種新型換熱設備。退火爐是節(jié)能型周期式作業(yè)爐，超節(jié)能結構，采用纖維結構，節(jié)電60%。

真空退火爐臥式真空退火爐

用途：本系列臥式真空退火爐主要應用于特種材料、不銹鋼、硒鋼片鐵芯、貴金屬零件、銀銅復合鉚釘及片件的真空退火處理。

設備特點：

1. 本設備專用于小零件等在真空狀態(tài)下的退火；

2. 爐罐密封性好，有效的避免了工件在退火處理中的表面氧化、生銹，提高了處理質量；

3. 保溫爐體可向后移動，退火完成后，在保持真空狀態(tài)下提高冷卻速度 。

真空退火爐井式真空退火爐

用途：井式真空退火爐系列產品采用預抽真空氣體保護方式工作，操作時先將爐內抽至一定真空度后爐內充入高純氮或氨分解氣體進行保護加熱，從而達到少無氧化加熱、無脫碳光亮的目的。由于攪拌風機的使用，該爐具有較高的爐溫均勻性。設備主要應用于機械零件、硅鋼片、銅材、紫銅、線材等的無氧化光亮退火。

設備特點：

1、加熱元件均布爐膛內，分布合理

2、爐蓋可設有熱風循環(huán)裝置，可使爐罐內的氣體及溫度均勻；

3、可配真空泵抽氣，增加換氣速度，氣體更純凈；

4、有保護氣體，經(jīng)退火后產品無氧化，消除加工應力，提高鐵心磁性能，降低鐵損；

5、爐溫控制采用PID自動調功平滑控溫。