中文名 | 白光掃描干涉輪廓儀 | 產(chǎn)????地 | 美國 |
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學(xué)科領(lǐng)域 | 工程與技術(shù)科學(xué)基礎(chǔ)學(xué)科、機械工程、紡織科學(xué)技術(shù) | 啟用日期 | 2012年5月11日 |
所屬類別 | 物理性能測試儀器 > 光電測量儀器 |
光學(xué)輪廓儀可對物體進行非接觸表面測量,其顯示精度可達亞納米級,同時可對工件進行納米級表面粗糙度測量。 2100433B
垂直分辨率(縱向) <0.1 nm Z軸調(diào)整≤350mm 精度0.11μm RMS重復(fù)精度 ≤0.01 nm RMS 垂直掃描范圍 150μm 測量時間 5~20s 掃描速度 ≤135μm/s 采樣數(shù)據(jù)點640×480點/次采集 臺階測量準確度 ≤0.75% 臺階測量重復(fù)率 ≤0.1%, 最大可拼接直徑 ≤φ50 mm 物鏡 2.5倍 20倍 目鏡 0.5倍, 1倍,2倍。
干涉原理上來說,白光和激光沒有本質(zhì)區(qū)別,就是頻率有差別而已 。但目前使用的大部分邁克爾遜干涉儀是 白光式的。
白光干涉儀是用于對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器,它是以白光干涉技術(shù)為原理,光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束,一束經(jīng)被測表面反射回來,另外一束光經(jīng)參考鏡反射,兩束反射光最終匯聚并發(fā)...
都可以 看什么零件 輪廓儀價格高
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用白光干涉儀自動測量金剛石砂輪表面形貌時,為了獲得更精準的干涉區(qū)域,在干涉儀所采集到的一系列圖像中,首先通過計算相鄰的2張圖像各像素灰度值的變化從而得到一系列新的灰度圖像。然后計算每幀新圖像的非零點像素的均值和極值,據(jù)此計算得出用于確定干涉區(qū)域的閾值以實現(xiàn)自動掃描。實驗表明:此方法運算速度較快,而且對局部區(qū)域的干涉更敏感,可以更精確地搜索出干涉區(qū)間。采用步進電機和壓電陶瓷二級驅(qū)動,可以在100 s內(nèi)實現(xiàn)100μm范圍內(nèi)掃描區(qū)間的自動獲取并實現(xiàn)垂直方向的數(shù)據(jù)采集。
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針對傳統(tǒng)的觸針式輪廓儀杠桿式測量桿的轉(zhuǎn)動支點由于滾動體跳動容易引入隨機誤差的問題,提出并設(shè)計了一種基于彈性變形理論的輪廓儀測量桿。利用高精度電容傳感器測量測量桿的彈性變形量,然后利用懸臂梁的撓曲線公式求出觸針針尖的位移量從而得到待測面的微觀不平度信息,消除了杠桿式測量桿引入的隨機誤差,進一步提高了粗糙度測量精度。
掃描干涉儀概述
詳細信息
它的兩種典型結(jié)構(gòu)如圖所示。圖a是把標準具置于真空室中,用調(diào)節(jié)真空室的氣壓去改變折射率實現(xiàn)掃描。圖b是把標準具置于密封的真空室中,利用改變施加到電致伸縮元件上的電壓去調(diào)節(jié)兩反射面的間隔,實現(xiàn)掃描。 把掃描干涉儀、單色儀和光電接收技術(shù)結(jié)合起來可研究光譜線的超精細結(jié)構(gòu),也就是光譜線的各光譜成分的波長和強度。掃描干涉儀在研究激光縱模方面意義更大,并且往往不需單色儀,只需使用激光器、隔離器、掃描干涉儀、光電探測電路組成的系統(tǒng),即可測定激光各縱模波長和強度。
條紋掃描干涉儀特點
條紋掃描干涉儀 條紋掃描干涉儀的特點:①干涉系統(tǒng)本身的誤差可用絕對校正法測出和存儲,并在后續(xù)的波面測試中自動除去,因此降低了干涉系統(tǒng)各光學(xué)元件的加工要求。當要求測量精度為/100時,干涉系統(tǒng)的波面誤差只要1就夠了。②由于二極管陣列上光強以隨機形式多次取樣和平均,因此大氣抖動、振動及熱變形對測量精度的影響明顯下降。
白光干涉儀工作原理
干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動,而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起,所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量,從而測得與此有關(guān)的其他物理量。測量精度決定于測量光程差的精度,干涉條紋每移動一個條紋間距,光程差就改變一個波長(~10-7米),所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的,其測量精度之高是任何其他測量方法所無法比擬的。
白光干涉儀的主要功能: 觀察、分析、應(yīng)用
特點:
1 、非接觸式測量:避免物件受損。 2 、三維表面測量:表面高度測量范圍為 1nm ---200μm。
3 、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。
4 、納米級分辨率:垂直分辨率可以達0.1nm。
5、高速數(shù)字信號處理器:實現(xiàn)測量僅需幾秒鐘。
6 、掃描儀:閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺:氣動裝置、抗震、抗壓。
8 、測量軟件:基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面,強大而快速的運算。
應(yīng)用領(lǐng)域:
1、半導(dǎo)體晶片 2、液晶產(chǎn)品(CS,LGP,BIU)
3、微機電系統(tǒng)
4、光纖產(chǎn)品
5、數(shù)據(jù)存儲盤(HDD,DVD,CD)
6、材料研究
7、精密加工表面
8、生物醫(yī)學(xué)工程