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潔凈度等級標準 ISO 14644 根據懸浮粒子濃度這個唯一指標來劃分潔凈室(區(qū))及相關受控環(huán)境中空氣潔凈度的等級,并 且僅考慮粒徑限值(低限)在 0.1um~5.0um 范圍內呈累積分布的粒子群。 根據粒子徑,可以劃分為常規(guī)粒子( 0.1um~5.0um)、超微粒子(< 0.1um)和宏粒子(> 5.0um)。 空氣潔凈度分級標準: ISO14644-1 (國際標準) 空氣潔凈度等級 (N) 大于或等于所標粒徑的粒子最大濃度限值(個 / 每立方米空氣粒子) 0.1 um 0.2 um 0.3 um 0.5um 1um 5 um ISO Class 1 10 2 ISO Class 2 100 24 10 4 ISO Class 3 1 000 237 102 35 8 ISO Class 4 10 000 2 370 1 020 352 83 ISO Class 5 100
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旭和凈化科技 http://www.dgsuncum.com 電子制造業(yè) 萬級潔凈室 廠房特點 : 潔凈度等級要求高 ,風量、溫度、濕度、壓差、設備排風按需受控 ,照度、 潔凈室截面風速按設計或規(guī)范受控, 另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴格。 其中 對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內極易產生靜電, 造成 CMOS集成損壞。 一般來說,電子廠房的溫度應控制在 22℃左右,相對濕度控制在 50-60% 之間(特 殊潔凈車間有相關溫濕度規(guī)定) 。 這時可有效地消除靜電,并使人也感覺舒適。 芯片生產車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于 電子制造行業(yè)潔凈室 的重 要組成部分,由于電子產品在制造、 生產過程中對室內空氣環(huán)境和品質的要求極 為嚴格,主要以控制微粒和浮塵為主要對象, 同時還對其環(huán)境的溫濕度、 新鮮空 氣量、噪聲等作出了嚴格的規(guī)定。 ●電子制造廠萬級潔凈室 內的噪聲級(空態(tài)):不應大