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光刻工藝中對(duì)熱板表面溫度場(chǎng)均勻性有極高要求,在熱板設(shè)計(jì)參數(shù)選擇問(wèn)題上,通過(guò)使用通用旋轉(zhuǎn)組合設(shè)計(jì)的方法,利用ANSYS仿真模擬軟件,得到不同設(shè)計(jì)參數(shù)情況下的熱板表面溫度場(chǎng)均勻性數(shù)據(jù)。對(duì)仿真結(jié)果數(shù)據(jù)進(jìn)行回歸建模,回歸模型計(jì)算結(jié)果與仿真結(jié)果有較高的一致性。結(jié)果表明,熱板設(shè)計(jì)參數(shù)可以根據(jù)該回歸模型來(lái)選擇。
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專題概述
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