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更新時間:2025.04.13
前制程關(guān)鍵設(shè)備取得重大技術(shù)突破

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近日,裝備子集團所屬的北京中科信公司和上海微高公司在前制程關(guān)鍵設(shè)備上取得了重大的技術(shù)突破。在離子注入機領(lǐng)域,北京中科信公司\"十二五\"45-22nm低能大束流離子注入機低能減速技術(shù)取得新突破。低能減速技術(shù)作為低能大束流注入機的關(guān)鍵技術(shù),直接關(guān)系到\"十二五\"項目的成敗,一直以來,備受關(guān)注。從最初的無法

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