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更新時(shí)間：2025.04.05
PE蝶閥與擋板閥的快速拆裝

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PD380B管式 PECVD 1 蝶閥與擋板閥的拆裝 圖一 PE主機(jī)臺(tái) 1.爐管降溫 在工控機(jī)操作界面中，將爐管溫度由原來的 450°設(shè)置為 200°。 2.真空泵的吹掃 2.1抽真空；將反應(yīng)壓力設(shè)為 0，關(guān)掉 N2輸入，打開預(yù)抽，當(dāng)壓力小 于 500時(shí)，關(guān)掉預(yù)抽，打開主抽，直到管內(nèi)為真空狀態(tài)（壓力小于 40mtorr）； 2.2設(shè)置 N2輸入為 8000，反應(yīng)壓力為 1700mtorr； 2.3將真空泵的 N2稀釋閥調(diào)到最大約 84.4pam3/S；吹掃至少進(jìn)行 20min。 真空泵 真空管路 PD380B管式 PECVD 2 圖二 真空泵 3.關(guān)真空泵 3.1點(diǎn)操作面板的 stop，選擇關(guān)閉真空泵（并非延時(shí)關(guān)閉） ； 3.2拉下真空泵的黑色電源開關(guān)，并且將真空泵的冷卻水關(guān)掉，保持 真空泵的 N2為打開狀態(tài)。 4.工具的準(zhǔn)備 一套開口扳手（主要使用 7mm、12mm、13mm、1

氣動(dòng)高真空擋板閥

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首頁 >>產(chǎn)品中心 >>真空擋板閥類 >>GDQ系列氣動(dòng)高真空擋板閥 GDQ系列氣動(dòng)高真空擋板閥 (又稱角閥 )是用壓縮空氣為動(dòng)力，通過電磁換向閥改變氣路方向，推動(dòng)氣缸活塞上下運(yùn)動(dòng)，帶動(dòng)閥桿上下運(yùn)動(dòng)，使閥板開啟或關(guān)閉， 從而達(dá)到在真空系統(tǒng)中接通或切斷氣流的目的。 GDQ-J型為角通型式， GDQ-S型為帶預(yù)抽口的三通型式。適用的工作介質(zhì)為空氣及非腐蝕性氣體。 主要技術(shù)性能 適用范圍 (Pa) 105～1.3x10-4 閥門漏率 (Pa.L/S) ≤1.3x10-6 介質(zhì)溫度（℃） -25～+80(密封材料為丁腈橡膠 ) -30～+150(密封材料為氟橡膠 ) 氣源壓力 (MPa) 0.4～0.8 安裝位置 DN＜300任意 ,DN≥300垂直 電源電壓 標(biāo)準(zhǔn)出廠： AC220V/50Hz 特殊指定： AC110V ；DC24V；DC12V 等 信號(hào)反饋 標(biāo)準(zhǔn)出廠：不帶反饋信號(hào) 特殊指

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