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更新時(shí)間：2025.04.05
TEGAL421等離子刻蝕機(jī)射頻電源的維修及調(diào)整

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TEGAL421 等離子刻蝕機(jī)射頻電源的維 修及調(diào)整 TEGAL421 等離子刻蝕機(jī)射頻電源的電路圖如下： 各部分電路的作用， DC Power Supply Board 板是一塊電源板提供射頻源 工作所需的各路電源，包括電子管工作的高低壓。 OSICLACTOR Board 板提供 射頻源的激勵(lì)信號(hào)， Q1是震蕩管，Q4是推動(dòng)管，Q3,Q2組成脈寬功率調(diào)節(jié)電路。 V1和 V2是兩個(gè)輸出電子管，提供所需的射頻功率。其中 Lv 是低壓變壓器，機(jī) 器一通電，該變壓器就被通電。而 BV 是高壓變壓器，只有在需要射頻輸出時(shí)才 被通電。 Power Coupler 是入射功率和反射功率檢測模塊。主機(jī)背面的電位器 R5 和 R6 用于矯正入射和反射功率的偏差。 Test Port 測試端口用于檢測射頻電 源的工作參數(shù)。 射頻電源的調(diào)整 射頻電源調(diào)整的步驟如下： 1. 關(guān)閉交流電源。 2. 移除射頻電源

電感耦合等離子體-質(zhì)譜法測定食品中的總鉻

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食品樣品使用微波消解處理后,選用質(zhì)量數(shù)相近的鈧(Sc)作為內(nèi)標(biāo),使用電感耦合等離子體-質(zhì)譜儀測定總鉻含量。在0—150μg/L范圍內(nèi),儀器響應(yīng)值與總鉻含量呈線性關(guān)系,線性方程為I=0.0429C,相關(guān)系數(shù)r=0.9998,檢出限為0.022mg/kg,相對標(biāo)準(zhǔn)偏差(n=6)為4.58%,加標(biāo)回收率在97.6%—104%之間。

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