公司名稱 | 臺州超晶人工晶體有限公司 | 成立時間 | 2007年12月26日 |
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總部地點 | 溫嶺市工業(yè)城九龍大道南側(cè) |
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<正>湖北黃晶建筑工程有限公司是由一支強有力的領(lǐng)導(dǎo)班子帶領(lǐng)公司員工組成一個團結(jié)的戰(zhàn)斗團體,是近年新成立的一家極具發(fā)展前景和充滿活力的建筑企業(yè)。公司本著一切為用戶服務(wù)的宗旨,自覺做到重合同,守信用,把企業(yè)效益和社會效益結(jié)合起來,并使之逐年提高,制定和完善了一系列規(guī)章制度,有力地保證了工程建設(shè)的順利進行。先后承建的工程有:2013年度宜昌市流水鎮(zhèn)南水
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南京冠超工業(yè)自動化有限公司創(chuàng)立于2006年,是一家服務(wù)全球的貨物裝卸與物流分揀成套設(shè)備企業(yè)。公司擁有自主知識產(chǎn)權(quán)和生產(chǎn)基地,積累了雄厚的技術(shù)力量和多年自動化領(lǐng)域的專業(yè)設(shè)計經(jīng)驗。旗下核心產(chǎn)品伸縮皮帶機,以其在同類產(chǎn)品中最大的伸縮裝卸能力、專業(yè)的設(shè)計以及精湛的加工工藝,在同類產(chǎn)品中處于絕對領(lǐng)先地位。
陶瓷主要由晶粒構(gòu)成,且因陶瓷中的晶粒取向是隨機的,不同的晶粒取向各異,故在晶粒與晶粒之間形成大量的晶界。相鄰晶粒由于取向度的差異造成原子間距的不同, 在晶界處結(jié)合時,形成晶格畸變或界面位錯而在晶界處造成應(yīng)力。同時,由于晶體的各向異性,在陶瓷燒成后的冷卻過程中,晶界上會出現(xiàn)很大的晶界熱應(yīng)力,其晶界熱應(yīng)力的大小與晶粒大小成正比。晶界應(yīng)力的存在將使晶界處出現(xiàn)微裂紋,從而大大降低陶瓷的斷裂強度。因此,陶瓷中一般要求盡可能小的晶粒尺寸。
晶圓是如何生長的?又是如何制備的呢?
本文的主要內(nèi)容有:沙子轉(zhuǎn)變?yōu)榘雽?dǎo)體級硅的制備,再將其轉(zhuǎn)變成晶體和晶圓,以及生產(chǎn)拋光晶圓要求的工藝步驟。這其中包括了用于制造操作晶圓的不同類型的描述。生長450mm直徑的晶體和450mm晶圓的制備存在的挑戰(zhàn)性。
更高密度和更大尺寸芯片的發(fā)展需要更大直徑的晶圓供應(yīng)。在20世紀60年代開始使用的1英寸直徑的晶圓。在21世紀前期業(yè)界轉(zhuǎn)向300mm(12英寸)直徑的晶圓而現(xiàn)在正轉(zhuǎn)向450mm(18英寸)領(lǐng)域。
更大直徑的晶圓是由不斷降低芯片成本的要求驅(qū)動的。這對晶體制備的挑戰(zhàn)是巨大的。在晶體生長中,晶體結(jié)構(gòu)和電學(xué)性能的一致性及污染問題是一個挑戰(zhàn)。在晶圓制備、平坦性、直徑控制和晶體完整性方面都是問題。更大直徑意味著更大的質(zhì)量,這就需要更堅固的工藝設(shè)備,并最終完全自動化。一個直徑300mm的晶圓生產(chǎn)坯質(zhì)大約是20磅(7.5kg)并會有50萬美元以上的產(chǎn)值。
一個450mm的晶圓質(zhì)量約800kg,長210cm。這些挑戰(zhàn)和幾乎每一個參數(shù)更高的工藝規(guī)格要求共存。與挑戰(zhàn)并進和提供更大直徑晶圓是芯片制造不斷進步的關(guān)鍵。然而,轉(zhuǎn)向更大直徑的晶圓是昂貴和費時的。因此,隨著產(chǎn)業(yè)進入更大直徑的晶圓,一些公司仍在使用較小直徑的晶圓。
半導(dǎo)體硅制備
半導(dǎo)體器件和電路在半導(dǎo)體材料晶圓的表層形成,半導(dǎo)體材料通常是硅。這些晶圓的雜質(zhì)含量必須非常低,必須摻雜到指定的電阻率水平,必須是制定的晶體結(jié)構(gòu),必須是光學(xué)的平面,并達到許多機械及清潔度的規(guī)格要求。
制造集成電路級硅晶圓分4個階段進行:
1. 礦石到高純度氣體的轉(zhuǎn)變;
2. 氣體到多晶的轉(zhuǎn)變;
3. 多晶到單晶、摻雜晶棒的轉(zhuǎn)變;
4. 晶棒到晶圓的制備。
半導(dǎo)體制備的第一個階段是從泥土中選取和提純半導(dǎo)體材料的原料。提純從化學(xué)反應(yīng)開始。對于硅,化學(xué)反應(yīng)是從礦石到硅化物氣體,例如四氟化硅或三氯硅烷。雜質(zhì),例如其他金屬,留在礦石殘渣里。硅化物再和氫反應(yīng)生成半導(dǎo)體級的硅。這樣的硅純度達99.9999999%,是地球上最純的物質(zhì)之一。它有一種稱為多晶或多晶硅的晶體結(jié)構(gòu)。
晶體材料
材料中原子的組織結(jié)構(gòu)是導(dǎo)致材料不同的一種方式。有些材料,例如硅和鍺,原子在整個材料里重復(fù)排列成非常固定的結(jié)構(gòu),這種材料稱為晶體。
原子沒有固定的周期性排列的材料被稱為非晶體或無定形。塑料就是無定形材料的例子。
晶體生長
半導(dǎo)體晶圓是從大塊的半導(dǎo)體材料切割而來的。這種半導(dǎo)體材料,或稱為硅錠,是從大塊的具有多晶結(jié)構(gòu)和未摻雜本征材料生長得來的。把多晶轉(zhuǎn)變成一個大單晶,給予正確的定向和適量的N型或P型摻雜,叫做晶體生長。
使用三種不同的方法來生長單晶:直拉法、液體掩蓋直拉法和區(qū)熔法。
晶體和晶圓質(zhì)量
半導(dǎo)體器件需要高度完美的晶體。但是即使使用了最成熟的技術(shù),完美的晶體還是得不到的。不完美,就稱為晶體缺陷,會產(chǎn)生不均勻的二氧化硅膜生長、差的外延膜沉積、晶圓里不均勻的摻雜層,以及其他問題而導(dǎo)致工藝問題。在完成的器件中,晶體缺陷會引起有害的電流漏出,可能阻止器件在正常電壓下工作。有四類重要的晶體缺陷:
1. 點缺陷;
2. 位錯;
3. 原生缺陷;
4. 雜質(zhì)。
晶圓準備
晶體從單晶爐里出來以后,到最終的晶圓會經(jīng)歷一系列的步驟。第一步是用鋸子截掉頭尾。
在晶體生長過程中,整個晶體長度中直徑是有偏差的。晶圓制造過程有各種各樣的晶圓固定器和自動設(shè)備,需要嚴格的直徑控制以減少晶圓翹曲和破碎。
直徑滾磨是在一個無中心的滾磨機上進行的機械操作。機器滾磨晶體到合適的直徑,無須用一個固定的中心點夾持晶體在車床型的滾磨機上操作。
在晶體提交到下一步晶體準備前,必須要確定晶體是否達到定向和電阻率的規(guī)格要求。
切片
用有金剛石涂層的內(nèi)圓刀片把晶圓從晶體上切下來。這些刀片是中心有圓孔的薄圓鋼片。圓孔的內(nèi)緣是切割邊緣,用金剛石涂層。內(nèi)圓刀片有硬度,但不用非常厚。
這些因素可減少刀口尺寸,也就減少了一定數(shù)量的晶體被切割工藝所浪費。
對于較大直徑的晶圓(大于300mm),使用線切割來保證小錐度的平整表面和最小量的刀口損失。
晶圓刻號
就像我們生產(chǎn)好的高鐵軌道一樣,每一段上都要刻好工號,以對應(yīng)相應(yīng)的生產(chǎn)人,這樣來保證產(chǎn)品的可追溯性。
同樣的,大面積的晶圓在晶圓制造工藝中有很高的價值,為了保持精確的可追溯性,區(qū)別它們和防止誤操作是必須的。因而使用條形碼和數(shù)字矩陣碼的激光刻號來區(qū)分它們。對300mm的晶圓,使用激光點是一致認同的方法。
磨片
半導(dǎo)體晶圓的表面要規(guī)則,且沒有切割損傷,并要完全平整。第一個要求來自于很小的尺度制造器件的表面和次表面層。它們的尺寸在0.5~2um之間。為了獲得半導(dǎo)體器件相對尺寸的概念,想象下圖的剖面和房子一樣高,大概8英尺(2.4m),在該范圍內(nèi),晶圓的工作層都要在頂部有1~2英寸或更小的區(qū)域。
平整度是小尺寸圖案絕對必要的條件。先進的光刻工藝把所需的圖案投影到晶圓表面,如果表面不平,投影將會扭曲,就像電影圖像在不平的熒幕上無法聚焦一樣。
平整和拋光的工藝分兩步:磨片和化學(xué)機械拋光。磨片是一個傳統(tǒng)的磨料研磨工藝,精調(diào)到半導(dǎo)體使用的要求。磨片的主要目的是去除切片工藝殘留的表面損傷。
至此,就生產(chǎn)出了表面平整的晶圓。
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注冊號國食藥監(jiān)械(進)字2008第3221243號(更)生產(chǎn)廠商名稱(中文)
產(chǎn)品性能結(jié)構(gòu)及組成本產(chǎn)品是一件式、后房型、聚甲基丙烯酸甲酯人工晶體,由具有紫外線吸收功能的聚甲基丙烯酸甲酯(UV-PMMA)材料制成,所含紫外線吸收成分為Tinuvin P,化學(xué)名稱是2-(2`-羥基-5`-芐基)苯并三唑。人工晶體在紫外光譜(200-385nm)范圍內(nèi)的平均透過率<10%。光學(xué)形狀圓形,襻結(jié)構(gòu)為改良C型,光焦度范圍:+8D~+30D,以0.5D遞增。根據(jù)產(chǎn)品總直徑、光學(xué)區(qū)直徑和定位孔等不同,將產(chǎn)品分為15種規(guī)格型號。產(chǎn)品經(jīng)環(huán)氧乙烷滅菌,一次性使用。產(chǎn)品適用范圍適用于白內(nèi)障患者白內(nèi)障摘除術(shù)后的后房內(nèi)植入。
注冊代理北京愛爾默醫(yī)藥技術(shù)開發(fā)有限公司售后服務(wù)機構(gòu)珠海市祥樂醫(yī)藥有限公司
批準日期2008.05.22有效期截止日2012.05.22
備注生產(chǎn)企業(yè)名稱由"Ophthalmic InnovationsInternational, Inc."變更為"AAREN ScientificInc.";產(chǎn)品名稱由"人工晶體"變更為"聚甲基丙烯酸甲酯人工晶體";售后服務(wù)機構(gòu)由"珠海市晶健醫(yī)療器械有限公司"變更為"珠海市祥樂醫(yī)藥有限公司";國食藥監(jiān)械(進)字2008第3221243號"變更為"國食藥監(jiān)械(進)字2008第3221243號(更)",原證自發(fā)證之日起作廢。變更日期2010.05.24
生產(chǎn)廠商名稱(英文)AAREN Scientific Inc.生產(chǎn)廠地址(中文)4290 East Brickell, Bldg. A, Ontario, CA 91761, USA
生產(chǎn)場所4290 East Brickell, Bldg. A, Ontario, CA 91761, USA生產(chǎn)國(中文)美國
產(chǎn)品名稱(中文)聚甲基丙烯酸甲酯人工晶體產(chǎn)品名稱(英文)PMMA Intraocular Lens
規(guī)格型號RS-50B, RS-55B, RS-60B, RS-60B2, RS-65, RS-652, SP-60A, SP-50B, SP-50C, SP-55A, SP-55B, SP-55C, SP-65A, SP-65A2, XP-50C產(chǎn)品標準進口產(chǎn)品注冊標準 YZB/USA 1629-2008《OII人工晶體》