兩種鈦合金都分別采用兩種注入方案:
① 在TC4及TA7鈦合金試件上濺射鍍Ti,Ti膜總厚度為540nm(5400A).在鍍Ti膜過程中,同時(shí)用(N N 2)進(jìn)行動(dòng)態(tài)反沖注入,束流能量為50keV,束流密度為45μA/cm2,劑量為7*1017/cm2,靶室真空度為1.33*10-2Pa;
② 在①的基礎(chǔ)上,再注入C ,束流能量為40keV,劑量為3*1017/cm2.
選航空用的TC4、TA7鈦合金,試件制成圓盤狀,尺寸為40*5mm,所有試件表面均拋光至鏡面.
線膨脹系數(shù)=8.6*10-6℃(0-100℃),比熱=0.612j/g·℃。鈦合金的彈性模量較低。TC4的彈性模量E=110GPa,約為鋼的1/2,故鈦合金加工時(shí)容易產(chǎn)生變形。其泊松比為0.34。 TC4(Ti-6Al-4V)和TA7(Ti-5Al-2.5Sn)鈦合金,采用兩種注入方案進(jìn)行表面改性,試驗(yàn)表明,鈦合金經(jīng)離子注入后,提高了顯微硬度,顯著地降低了滑動(dòng)摩擦系數(shù),有效地提高了耐磨性.為探明其改性機(jī)理,對(duì)注入與未注入樣品進(jìn)行了X射線光電子能譜(XPS)分析,獲得滿意的結(jié)果.
當(dāng)然要寫,跟寫化學(xué)方程式一樣的,反應(yīng)發(fā)生需要的條件都要寫在等號(hào)上下方。 (狀態(tài)符號(hào)也要寫)比如 ,實(shí)驗(yàn)室制備 氯氣的反應(yīng)的離子方程式MnO2 +4H + +2Cl- = Δ= Mn2+ +Cl2 ↑...
TC4鈦合金的組成為Ti-6Al-4V,屬于(α+β)型鈦合金,具有良好的綜合力學(xué)機(jī)械性能。比強(qiáng)度大。TC4的強(qiáng)度sb=1.012GPa,密度g=4.51g/cm3,比強(qiáng)度sb/g=23.5,而合金鋼...
用HXD-1000數(shù)字式顯微硬度計(jì)測(cè)量了注入與未注入試件的顯微硬度,測(cè)量載荷為4.9×10-2N,測(cè)量結(jié)果列于表1.
表1 顯微硬度測(cè)量結(jié)果
材料 表面狀態(tài) 顯微硬度/MPa 硬度提高倍數(shù)
未注入 2690 0
TC4 注入(N N 2) 6399 1.38
注入(N N 2) C 3436 0.28
未注入 3133 0
TA7 注入(N N 2) 4276 0.36
注入(N N 2) C 4073 0.30
從表1看出,離子注入后,試件的顯微硬度都有不同程度的提高,其中TC4鈦合金注入(N N 2)混合束后硬度約提高1.4倍.
●TC4 熱膨脹系數(shù):
TC4鈦合金具有優(yōu)良的耐蝕性、小的密度、高的比強(qiáng)度及較好的韌性和焊接性等一系列優(yōu)點(diǎn),在航空航天、石油化工、造船、汽車,醫(yī)藥等部門都得到成功的應(yīng)用。
●TC4鈦合金力學(xué)性能:
抗拉強(qiáng)度σb/MPa≥895,規(guī)定殘余伸長(zhǎng)應(yīng)力σr0.2/MPa≥825,伸長(zhǎng)率δ5(%)≥10,斷面收縮率ψ(%)≥25
●TC4鈦合金密度:
4.5(g/cm3)工作溫度-100~550(℃)
●TC4鈦合金化學(xué)成分:
TC4含鈦(Ti) 余量,鐵(Fe)≤0.30,碳(C)≤0.10,氮(N)≤0.05,氫(H)≤0.015,氧(O)≤0.20,鋁(Al)5.5~6.75,釩(V)3.5~4.52100433B
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半導(dǎo)體離子注入工藝 09電科 A柯鵬程 0915221019 離子注入法摻雜和擴(kuò)散法摻雜對(duì)比來說,它的加工溫度低、容易制作淺結(jié)、均勻的 大面積注入雜質(zhì)、易于自動(dòng)化等優(yōu)點(diǎn)。當(dāng)前,離子注入法已成為超大規(guī)模集成電路 制造中不可缺少的摻雜工藝。離子注入是一種將帶點(diǎn)的且具有能量的粒子注入襯底 硅的過程。注入能量介于 1eV到 1MeV之間,注入深度平均可達(dá) 10nm~10um。相對(duì) 擴(kuò)散工藝,粒子注入的主要好處在于能更準(zhǔn)確地控制雜質(zhì)參雜、可重復(fù)性和較低的 工藝溫度。 1.離子注入原理 : 離子是原子或分子經(jīng)過離子化后形成的,即等離子體,它帶有一定量的電荷??赏?過電場(chǎng)對(duì)離子進(jìn)行加速,利用磁場(chǎng)使其運(yùn)動(dòng)方向改變,這樣就可以控制離子以一定 的能量進(jìn)入 wafer 內(nèi)部達(dá)到摻雜的目的。 離子注入到 wafer 中后,會(huì)與硅原子碰撞而損失能量, 能量耗盡離子就會(huì)停在 wafer 中某位置。離子通過與硅原子
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評(píng)分: 4.6
采用俄歇電子能譜儀分析Ta離子注入鋁青銅合金的Ta、Cu和Al元素分布,利用顯微硬度儀測(cè)量注入Ta離子鋁青銅的顯微硬度,用摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)分析QAl9-4鋁青銅的摩擦系數(shù)和磨損質(zhì)量損失。結(jié)果表明:隨Ta離子注入劑量的增加,鋁青銅中的Ta原子濃度升高,離子注入深度超過100 nm,顯微硬度顯著增高,在距合金表面約60 nm深處硬度達(dá)到最大值;鋁青銅的摩擦系數(shù)顯著降低,單位時(shí)間內(nèi)磨損質(zhì)量損失顯著減小,因此明顯提高了鋁青銅的耐磨性能。
類型:α β型鈦合金
●TC4 熱膨脹系數(shù):
TC4鈦合金具有優(yōu)良的耐蝕性、小的密度、高的比強(qiáng)度及較好的韌性和焊接性等一系列優(yōu)點(diǎn),在航空航天、石油化工、造船、汽車,醫(yī)藥等部門都得到成功的應(yīng)用。
●TC4鈦合金力學(xué)性能:
規(guī)定殘余伸長(zhǎng)應(yīng)力σr0.2/MPa≥825,伸長(zhǎng)率δ5(%)≥10,
●TC4鈦合金密度:
4.5(g/cm3)
●TC4鈦合金化學(xué)成分:
TC4含鈦(Ti) 余量,鐵(Fe)≤0.30,碳(C)≤0.10,氮(N)≤0.05,氫(H)≤0.015,氧(O)≤0.20,鋁(Al)5.5~6.8,釩(V)3.5~4.5
●TC4鈦合金密度:
4.5(g/cm3)工作溫度-100~550(℃)
TC4鈦棒
機(jī)械加工性能尚好,需要用硬質(zhì)合金刀具,大走刀量、慢速,充分冷卻。耐蝕性能良好,熱穩(wěn)定性好。TC4鈦合金是應(yīng)用最廣的鈦合金之一。做400℃以下長(zhǎng)期工作的零件。