電容式位移傳感器

主要用于解決下述各種測量問題：

壓電微位移、振動臺，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測量等。

量程：20～1250μm；

分辨率：<0.1nm；零磁滯；

線性最高0.02%；

頻帶可調(diào)：50～5000Hz；

靈敏度可調(diào)：5～125μm/V；

真空兼容選項；

非接觸式測量方法；

具有一般非接觸式儀器所共有的無磨擦、無損磨和無惰性特點外，還具有信噪比大，靈敏度高，零漂小，頻響寬，非線性小，精度穩(wěn)定性好，抗電磁干擾能力強和使用操作方便等優(yōu)點。在國內(nèi)研究所，高等院校、工廠和軍工部門得到廣泛應(yīng)用，成為科研、教學(xué)和生產(chǎn)中一種不可缺少的測試儀器。

電容式位移傳感器的電容器極板多為金屬材料，極板間襯物多為無機(jī)材料，如空氣、玻璃、陶瓷、石英等;因此可以在高溫、低溫強磁場、強輻射下長期工作，尤其是解決高溫高壓環(huán)境下的檢測難題。

該傳感器還可與控制室中的二次儀表或控制器相連，在線、連續(xù)、實時的檢測各種數(shù)據(jù)然后直接顯示，遠(yuǎn)程控制和報警。實現(xiàn)數(shù)據(jù)存儲，積算、傳輸和控制功能。廣泛應(yīng)用于各種注塑機(jī)中。

電容式位移傳感器尤其適合緩慢變化或微小量的測量，一般來說采用電容式傳感器進(jìn)行檢測比較適宜。電容式位移傳感器的這些性能必然促使其應(yīng)用范圍越來越廣泛。

電渦流位移傳感器

分辨率：電渦流傳感器的分辨率最高也可達(dá)到0.1um，與激光位移傳感器基本相當(dāng)

線性度：電渦流傳感器的線性度一般較低，為量程的1%左右，高端激光位移傳感器則一般為0.1%

測量條件：電渦流傳感器要求被測體為導(dǎo)體而且非導(dǎo)磁，即不導(dǎo)磁的導(dǎo)體，例如鋁、銅等，鐵則不行；激光位移傳感器則對無論被測體是否導(dǎo)磁、是否導(dǎo)電都能測。

電容位移傳感器

電容式位移傳感器精度非常高，遠(yuǎn)高于激光位移傳感器，但是電容位移傳感器的量程很小一般小于1mm，激光位移傳感器的量程最大可做到2m。

光纖位移傳感器

光纖位移傳感器的測量原理為通過測量物體因位移導(dǎo)致其表面反射回來的光通量和光強度的變化來測量物體的位移情況，其探頭由發(fā)射光纖和接收光纖兩部分組成。對于尺寸很小的物體的位移和振動情況，常規(guī)的非接觸式位移傳感器收到反射面積的限制導(dǎo)致測量效果不是很理想，而光纖位移傳感器則可以做成很小的探頭（最小0.2mm直徑），此外還可以做成直線發(fā)射和接收的形式，通過測量物體在位移過程中對光纖的遮擋程度來計算位移的數(shù)值，精度可達(dá)0.01um，量程最大4mm。