沖擊加速度傳感器常見結構

沖擊加速度傳感器的結構形式多，常見的有柱式、膜片式結構，如圖1所示，是我們采用的周邊圓支圓形規(guī)膜片結構，中心帶敏感質量塊。靠近圓膜片邊緣應變最大的位置，用擴散參雜法沿徑向110和切向110晶向擴散四個阻值相等的電阻條，經蒸渡鋁電極鏈接4個性能一致的電阻構成惠斯頓電橋。

適用于最大量程達100000g 的沖擊加速度參數測量與控制。

量程 ±100000g

頻率響應 0.1～10000Hz

輸出信號 0.15 ±50mv～4800mv(可變) 測量線性度、重復性及遲滯性

均優(yōu)于1% 供電電壓 ±15±0.5V 功耗

在工業(yè)自動控制、汽車、地震測量、軍事和空間系統(tǒng)等領域中的許多場合都是用沖擊加速度傳感器，由于受工作環(huán)境的限制，要求沖擊加速度傳感器應具有高的諧振頻率，動態(tài)性能要好，以保證快速、準確測試出被測對象的沖擊力或沖擊加速度。

沖擊加速度傳感器特點

1、大沖擊測量。

2、重量輕、剛度高、響應快、溫度特性好。

3、隔離浮置。

沖擊加速度傳感器主要技術指標

沖擊加速度傳感器靈敏度的選擇

加速度傳感器產品介紹給出了參考量程范圍，目的是讓用戶在眾多不同靈敏度的加速度傳感器中能方便地選出合適的產品，最小加速度測量值也稱最小分辨率，考慮到后級放大電路噪聲問題，應盡量遠離最小可用值，以確保最佳信噪比。

最大測量極限要考慮加速度傳感器自身的非線性影響和后續(xù)儀器的最大輸出電壓，估算方法：最大被測加速度×傳感器的電荷/電壓靈敏度，以上數值是否超過配套儀器的最大輸入電荷/電壓值，建議如已知被測加速度范圍可在傳感器指標中的“參考量程范圍”中選擇（兼顧頻響、重量），同時，在頻響、重量允許的情況下，靈敏度可考慮高些，以提高后續(xù)儀器輸入信號，提高信噪比。

沖擊加速度傳感器頻率選擇

生產廠給出的頻響曲線是用螺釘安裝的，一般將曲線分成二段：諧振頻率和使用頻率。使用頻率的給值是按靈敏度偏差給出，有±10%、±5%、±3dB。諧振頻率一般是避開不用，但也有特例，如軸承故障檢測。

選擇加速度傳感器的頻率應高于被測物的振動頻率，有倍頻分析要求的加速度傳感器頻響應更高。土木工程是低頻，加速度傳感器可選擇0.2Hz～1kHz左右，機械設備一般是中頻段，可根據設備轉速、設備剛度等因素綜合估計頻率，選擇0.5Hz～5kHz的加速度計。沖擊測量高頻居多。

加速度傳感器的安裝方式不同也會改變使用頻響（對振動值影響不大），安裝面要平整、光潔，安裝選擇應根據方便、安全的原則。

加速度傳感器的重量、靈敏度與使用頻率成反比，靈敏度高，重量大，使用頻率低，這也是選擇的技巧。

沖擊加速度傳感器內部結構

內部結構是指敏感材料晶體片感受振動的方式及安裝形式，有壓縮和剪切兩大類，常見的有中心壓縮、平面剪切、三角剪切、環(huán)型剪切。中心壓縮頻響高于剪切型，剪切型的環(huán)境適應性好于中心壓縮型。如配用積分型電荷放大器測量速度、位移時，最好選用剪切型產品，這樣所得信號波動小，穩(wěn)定性好。

52加速度傳感器（Model 52 Accelerometer）采用先進的壓阻式MEMS傳感元件設計制造，具有卓越的動態(tài)范圍和穩(wěn)定性。52加速度傳感器采用全橋輸出配置，工作溫度范圍從-40℃到121℃。傳感器內部的氣體阻尼提供了優(yōu)秀的抗沖擊能力和高達7kHz的幅度/相位響應。

壓電式加速度傳感器的性能和參數與壓阻式加速度傳感器的性能和參數一樣，包括靈敏度、頻率響應、精度誤差等。但是，兩者性能有較大差別，例如壓電式加速度傳感器是電容性的，高阻抗，而壓阻式加速度傳感器是電阻性，低阻抗;壓電式加速度傳感器的頻響范圍較窄，在恒定方向加速度下壓電式加速度傳感器不輸出信號，通常其頻響范圍為2～270Hz;壓電式加速度傳感器的誤差較小，通常約為壓阻式加速度傳感器的一半。

有兩種方法：①描述沖擊波形本身的固有特性?？稍跁r域內用波形的形狀、峰值、脈沖寬度（即持續(xù)時間）等參量描述，這種描述適用于簡單脈沖型沖擊；也可在頻域內用傅里葉譜求出沖擊的主要頻率分量和頻率范圍，這種描述既適用于簡單脈沖型沖擊也適用于復雜脈沖型沖擊。圖2為半正弦脈沖及其傅里葉幅值譜。②描述沖擊對系統(tǒng)的作用效果?？刹捎脹_擊響應譜（簡稱沖擊譜），即無阻尼的或有阻尼的單自由度系統(tǒng)對作用在系統(tǒng)基座上的沖擊的響應峰值同該系統(tǒng)同有頻率的函數關系。沖擊譜又可細分為：僅在作用期間獲得的沖擊譜稱為初始沖擊譜（簡稱主譜）；在沖擊作用之后獲得的沖擊譜稱為剩余沖擊譜（簡稱余譜）；主譜和余譜中取最大值后形成的沖擊譜稱為最大譜。圖3為半正弦脈沖作用于無阻尼單自由度系統(tǒng)后得到的沖擊譜。

沖擊譜的概念提出較早，由于它比較簡單，而且很多系統(tǒng)在一定程度上可以當作單自由度系統(tǒng)，所以可以通過沖擊譜了解機器設備因受沖擊而破壞的程度，因此沖擊譜至今仍是研究沖擊的重要工具。但它沒有考慮到相位因素，提供的只是一種不完整的信息。