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各類真空泵原理概述大全 真空泵是用各種方法在某一封閉空間中產生、 改善和維持真空的裝置。 真空泵可以定義為: 利用機械、 物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備。隨著真空應用的發(fā)展, 真空泵的種類已發(fā)展了很多種,其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。極限壓力 (極限真 空 )從粗真空到 10-12 Pa以上的極高真空范圍。 真空區(qū)域的劃分 粗真空 105~103Pa 低真空 103~10-1 Pa 高真空 10-1~10-6Pa 超高真空 10-6~10-10 Pa 極高真空 <10-10 Pa 真空泵的分類 按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分為兩種類型,即變容真空泵和動量傳輸泵。 變容真空泵是利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的真空泵。 氣體在排出泵腔 前被壓縮。 動量傳輸泵(分子真空泵)依靠高速旋轉的葉片或高速射流,把動量傳輸給氣
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