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更新時間：2025.05.10
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設計研制了一種小體積、低成本、可擴展的低電壓非硅基底 1× 4微機電系統(tǒng)光開關。開關單元由電磁驅(qū)動 ,微反射鏡繞直徑 10 0 μm轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動 ,驅(qū)動電壓為 5V ,開關時間小于 2ms,插入損耗小于 0 .84dB ,具有斷電自鎖功能。器件構造工藝采用微細電火花加工技術。用有限元法分析受力和磁場 ,進行結構優(yōu)化設計 ,并著重介紹開關的實現(xiàn)及性能
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微機電系統(tǒng)是源于微電子加工技術，融合了微機械制造、傳感、致動及微控制于一體的系統(tǒng)。微機電系統(tǒng)融合了力、電、流體、光、磁、熱等多個物理域，建模與仿真技術的迅速發(fā)展，討論了目前有關微機電系統(tǒng)建模與仿真的基本理論和方法。
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專題概述
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