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更新時(shí)間:2025.06.21
偏置電壓極性對差分電容微傳感器可靠工作條件的影響分析

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頁數(shù): 6頁

為了測得電容式傳感器的電容變化,一般需要有直流偏置電壓的交流驅(qū)動信號加到傳感器上,然而驅(qū)動信號產(chǎn)生的靜電力會干擾傳感器的測量和可靠工作條件。文中分析差分電容傳感器受到階躍加速度信號作用時(shí),不同偏置電壓極性對可靠工作條件的影響,得到不同偏置電壓極性下傳感器的臨界階躍加速度與隨測試信號電壓和反饋系數(shù)的關(guān)系表達(dá)式及其變化曲線。結(jié)果表明若偏置電壓極性為正—正或正—負(fù)配置,其電子機(jī)械反饋本質(zhì)上是負(fù)反饋,且偏置電壓極性為正—負(fù)配置時(shí),傳感器承受階躍加速度沖擊的能力最強(qiáng)。若偏置電壓極性為負(fù)—負(fù)或負(fù)—正配置,其電子機(jī)械反饋本質(zhì)上是正反饋,偏置電壓極性為負(fù)—正配置時(shí),其抗階躍加速度沖擊的能力最低。

偏置電壓極性對差分電容微傳感器可靠工作條件的影響分析

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為了測得電容式傳感器的電容變化,一般需要有直流偏置電壓的交流驅(qū)動信號加到傳感器上,然而驅(qū)動信號產(chǎn)生的靜電力會干擾傳感器的測量和可靠工作條件。文中分析差分電容傳感器受到階躍加速度信號作用時(shí),不同偏置電壓極性對可靠工作條件的影響,得到不同偏置電壓極性下傳感器的臨界階躍加速度與隨測試信號電壓和反饋系數(shù)的關(guān)系表達(dá)式及其變化曲線。結(jié)果表明若偏置電壓極性為正—正或正—負(fù)配置,其電子機(jī)械反饋本質(zhì)上是負(fù)反饋,且偏置電壓極性為正—負(fù)配置時(shí),傳感器承受階躍加速度沖擊的能力最強(qiáng)。若偏置電壓極性為負(fù)—負(fù)或負(fù)—正配置,其電子機(jī)械反饋本質(zhì)上是正反饋,偏置電壓極性為負(fù)—正配置時(shí),其抗階躍加速度沖擊的能力最低。

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