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本文介紹和給出了擴(kuò)散泵以及擴(kuò)散噴射泵的主要尺寸、參數(shù)的設(shè)計(jì)與計(jì)算,并對(duì)抽氣速率、蒸發(fā)面積及噴咀設(shè)置與返流率等問題進(jìn)行探討。最后對(duì)兩種產(chǎn)品實(shí)例進(jìn)行分析和計(jì)算,為產(chǎn)品設(shè)計(jì)、生產(chǎn)和改進(jìn)提供參考和依據(jù)。
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