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鍍膜玻璃膜層的針孔和結(jié)合力

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　第 31卷 第 4期 　2008 年 4 月 合肥 工 業(yè)大 學(xué) 學(xué)報 ( 自 然 科 學(xué) 版 ) JOU RNAL OF H EFEI UN IV ERSIT Y OF TECHNOLO GY Vol. 31 No. 4 　 Apr. 2008　 　　 收稿日期 :2007203213 ;修改日期 :2007204220 作者簡介 :龔建華 ( 1945 - ) ,男 ,黑龍江富錦人 ,合肥工業(yè)大學(xué)教授 ,碩士生導(dǎo)師 . 鍍膜玻璃膜層的針孔和結(jié)合力 龔建華 ,　楊有財 ,　張永勝 (合肥工業(yè)大學(xué) 機(jī)械與汽車工程學(xué)院 ,安徽 合肥 　230009) 摘 　要 :真空鍍膜是材料表面改性的一個重要方面 ,目前已形成了一個巨大的產(chǎn)業(yè) ,因此其質(zhì)量的監(jiān)控顯得尤 為重要 。真空鍍膜膜層質(zhì)量涉及結(jié)構(gòu) 、理化及功能等方面 。而在玻璃 、亞克力等透明基片上用磁控濺射方法 大面積沉積的膜層 ,針孔和結(jié)合力

鍍膜玻璃膜層的針孔和結(jié)合力

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真空鍍膜是材料表面改性的一個重要方面,目前已形成了一個巨大的產(chǎn)業(yè),因此其質(zhì)量的監(jiān)控顯得尤為重要。真空鍍膜膜層質(zhì)量涉及結(jié)構(gòu)、理化及功能等方面。而在玻璃、亞克力等透明基片上用磁控濺射方法大面積沉積的膜層,針孔和結(jié)合力是一個令人關(guān)注的問題。文章針對針孔出現(xiàn)的機(jī)理,較詳細(xì)地討論了消除或減少針孔的有效方法;分析了影響膜層結(jié)合力的各種因素,指出了入射粒子能量和基體作用力的性質(zhì)是影響膜層結(jié)合力的重要因素,同時,膜層與界面的形態(tài)也強(qiáng)烈地影響到結(jié)合力的強(qiáng)弱。據(jù)此,從工藝和膜層結(jié)構(gòu)方面提出了增強(qiáng)膜層結(jié)合力的方法和措施。

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