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為了實(shí)現(xiàn)對(duì)微小位移的測(cè)量,研制了一套基于單模光纖輸出半導(dǎo)體激光器和2維位置敏感探測(cè)器的位移檢測(cè)系統(tǒng),可以有效地抑制環(huán)境光噪聲.對(duì)半導(dǎo)體激光器的注入電流進(jìn)行1kHz的調(diào)制,實(shí)現(xiàn)輸出光功率的調(diào)制.在信號(hào)處理電路中,采用相敏檢波技術(shù),解調(diào)探測(cè)器的輸出交流信號(hào),得出光斑能量中心位置,消除外界干擾.結(jié)果表明,測(cè)量精度優(yōu)于1μm.這一結(jié)果對(duì)于多自由度誤差檢測(cè)是有幫助的.
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提高25Hz相敏軌道電路分路靈敏度
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