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針對(duì)拋光石英玻璃表面經(jīng)氫氟酸溶液刻蝕后,出現(xiàn)麻點(diǎn)、劃痕等缺陷;本文對(duì)出現(xiàn)的亞表面缺陷進(jìn)行了分類(lèi),并研究了各種缺陷經(jīng)氫氟酸溶液刻蝕后形態(tài)變化;結(jié)合石英玻璃加工過(guò)程對(duì)各類(lèi)亞表缺陷的成因進(jìn)行了分析。
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