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基于嚴(yán)格耦合波理論,分析了金屬介質(zhì)膜光柵的衍射性能,以-1級(jí)衍射效率為評(píng)價(jià)函數(shù),研究了表面浮雕結(jié)構(gòu)分別為HfO2和Si O2材料的金屬介質(zhì)膜光柵,獲得衍射效率優(yōu)于99%的結(jié)構(gòu)參數(shù)。數(shù)值計(jì)算表明,當(dāng)頂層光柵結(jié)構(gòu)為HfO2和Si O2的槽深分別為80nm和225 nm時(shí),在1 053 nm處獲得接近100%的衍射效率。
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