藍寶石基片的超光滑表面拋光技術
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文中介紹了藍寶石基片的主要拋光方法,包括浮法拋光、機械化學拋光、化學機械拋光和水合拋光等,對它們的工作原理、特點作了分析和總結。
單晶藍寶石的延性研磨加工
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