一種太陽能電池制造工藝

王青

太陽能電池片的生產(chǎn)工藝流程分為硅片檢測——表面制絨及酸洗——擴散制結(jié)——去磷硅玻璃——等離子刻蝕及酸洗——鍍減反射膜——絲網(wǎng)印刷——快速燒結(jié)等。具體介紹如下：

一、硅片檢測

硅片是太陽能電池片的載體，硅片質(zhì)量的好壞直接決定了太陽能電池片轉(zhuǎn)換效率的高低，因此需要對來料硅片進行檢測。該工序主要用來對硅片的一些技術(shù)參數(shù)進行在線測量，這些參數(shù)主要包括硅片表面不平整度、少子壽命、電阻率、P/N型和微裂紋等。該組設(shè)備分自動上下料、硅片傳輸、系統(tǒng)整合部分和四個檢測模塊。其中，光伏硅片檢測儀對硅片表面不平整度進行檢測,同時檢測硅片的尺寸和對角線等外觀參數(shù);微裂紋檢測模塊用來檢測硅片的內(nèi)部微裂紋;另外還有兩個檢測模組，其中一個在線測試模組主要測試硅片體電阻率和硅片類型，另一個模塊用于檢測硅片的少子壽命。在進行少子壽命和電阻率檢測之前，需要先對硅片的對角線、微裂紋進行檢測，并自動剔除破損硅片。硅片檢測設(shè)備能夠自動裝片和卸片，并且能夠?qū)⒉缓细衿贩诺焦潭ㄎ恢茫瑥亩岣邫z測精度和效率。

二、表面制絨

單晶硅絨面的制備是利用硅的各向異性腐蝕，在每平方厘米硅表面形成幾百萬個四面方錐體也即金字塔結(jié)構(gòu)。由于入射光在表面的多次反射和折射，增加了光的吸收，提高了電池的短路電流和轉(zhuǎn)換效率。硅的各向異性腐蝕液通常用熱的堿性溶液，可用的堿有氫氧化鈉，氫氧化鉀、氫氧化鋰和乙二胺等。大多使用廉價的濃度約為1%的氫氧化鈉稀溶液來制備絨面硅，腐蝕溫度為70-85℃。為了獲得均勻的絨面，還應(yīng)在溶液中酌量添加醇類如乙醇和異丙醇等作為絡(luò)合劑，以加快硅的腐蝕。制備絨面前，硅片須先進行初步表面腐蝕，用堿性或酸性腐蝕液蝕去約20～25μm，在腐蝕絨面后，進行一般的化學(xué)清洗。經(jīng)過表面準(zhǔn)備的硅片都不宜在水中久存，以防沾污，應(yīng)盡快擴散制結(jié)。

三、擴散制結(jié)

太陽能電池需要一個大面積的PN結(jié)以實現(xiàn)光能到電能的轉(zhuǎn)換，而擴散爐即為制造太陽能電池PN結(jié)的專用設(shè)備。管式擴散爐主要由石英舟的上下載部分、廢氣室、爐體部分和氣柜部分等四大部分組成。擴散一般用三氯氧磷液態(tài)源作為擴散源。把P型硅片放在管式擴散爐的石英容器內(nèi)，在850---900攝氏度高溫下使用氮氣將三氯氧磷帶入石英容器，通過三氯氧磷和硅片進行反應(yīng)，得到磷原子。經(jīng)過一定時間，磷原子從四周進入硅片的表面層，并且通過硅原子之間的空隙向硅片內(nèi)部滲透擴散，形成了N型半導(dǎo)體和P型半導(dǎo)體的交界面，也就是PN結(jié)。這種方法制出的PN結(jié)均勻性好,方塊電阻的不均勻性小于百分之十,少子壽命可大于10ms。制造PN結(jié)是太陽電池生產(chǎn)最基本也是最關(guān)鍵的工序。因為正是PN結(jié)的形成，才使電子和空穴在流動后不再回到原處，這樣就形成了電流，用導(dǎo)線將電流引出，就是直流電。

四、去磷硅玻璃

該工藝用于太陽能電池片生產(chǎn)制造過程中，通過化學(xué)腐蝕法也即把硅片放在氫氟酸溶液中浸泡，使其產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)生成可溶性的絡(luò)和物六氟硅酸，以去除擴散制結(jié)后在硅片表面形成的一層磷硅玻璃。在擴散過程中，POCL3與O2反應(yīng)生成P2O5淀積在硅片表面。P2O5與Si反應(yīng)又生成SiO2和磷原子，

這樣就在硅片表面形成一層含有磷元素的SiO2，稱之為磷硅玻璃。去磷硅玻璃的設(shè)備一般由本體、清洗槽、伺服驅(qū)動系統(tǒng)、機械臂、電氣控制系統(tǒng)和自動配酸系統(tǒng)等部分組成，主要動力源有氫氟酸、氮氣、壓縮空氣、純水，熱排風(fēng)和廢水。氫氟酸能夠溶解二氧化硅是因為氫氟酸與二氧化硅反應(yīng)生成易揮發(fā)的四氟化硅氣體。若氫氟酸過量，反應(yīng)生成的四氟化硅會進一步與氫氟酸反應(yīng)生成可溶性的絡(luò)和物六氟硅酸。

五、等離子刻蝕

由于在擴散過程中，即使采用背靠背擴散，硅片的所有表面包括邊緣都將不可避免地擴散上磷。PN結(jié)的正面所收集到的光生電子會沿著邊緣擴散有磷的區(qū)域流到PN結(jié)的背面，而造成短路。因此，必須對太陽能電池周邊的摻雜硅進行刻蝕，以去除電池邊緣的PN結(jié)。通常采用等離子刻蝕技術(shù)完成這一工藝。等離子刻蝕是在低壓狀態(tài)下，反應(yīng)氣體CF4的母體分子在射頻功率的激發(fā)下，產(chǎn)生電離并形成等離子體。等離子體是由帶電的電子和離子組成，反應(yīng)腔體中的氣體在電子的撞擊下，除了轉(zhuǎn)變成離子外，還能吸收能量并形成大量的活性基團。活性反應(yīng)基團由于擴散或者在電場作用下到達SiO2表面，在那里與被刻蝕材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，并形成揮發(fā)性的反應(yīng)生成物脫離被刻蝕物質(zhì)表面，被真空系統(tǒng)抽出腔體。

六、鍍減反射膜

拋光硅表面的反射率為35%,為了減少表面反射,提高電池的轉(zhuǎn)換效率,需要沉積一層氮化硅減反射膜。工業(yè)生產(chǎn)中常采用PECVD設(shè)備制備減反射膜。PECVD即等離子增強型化學(xué)氣相沉積。它的技術(shù)原理是利用低溫等離子體作能量源，樣品置于低氣壓下輝光放電的陰極上，利用輝光放電使樣品升溫到預(yù)定的溫度，然后通入適量的反應(yīng)氣體SiH4和NH3，氣體經(jīng)一系列化學(xué)反應(yīng)和等離子體反應(yīng)，在樣品表面形成固態(tài)薄膜即氮化硅薄膜。一般情況下，使用這種等離子增強型化學(xué)氣相沉積的方法沉積的薄膜厚度在70nm左右。這樣厚度的薄膜具有光學(xué)的功能性。利用薄膜干涉原理，可以使光的反射大為減少，電池的短路電流和輸出就有很大增加，效率也有相當(dāng)?shù)奶岣摺?/p>

七、絲網(wǎng)印刷

太陽電池經(jīng)過制絨、擴散及PECVD等工序后，已經(jīng)制成PN結(jié)，可以在光照下產(chǎn)生電流，為了將產(chǎn)生的電流導(dǎo)出，需要在電池表面上制作正、負兩個電極。制造電極的方法很多，而絲網(wǎng)印刷是制作太陽電池電極最普遍的一種生產(chǎn)工藝。絲網(wǎng)印刷是采用壓印的方式將預(yù)定的圖形印刷在基板上，該設(shè)備由電池背面銀鋁漿印刷、電池背面鋁漿印刷和電池正面銀漿印刷三部分組成。其工作原理為：利用絲網(wǎng)圖形部分網(wǎng)孔透過漿料，用刮刀在絲網(wǎng)的漿料部位施加一定壓力，同時朝絲網(wǎng)另一端移動。油墨在移動中被刮刀從圖形部分的網(wǎng)孔中擠壓到基片上。由于漿料的粘性作用使印跡固著在一定范圍內(nèi)，印刷中刮板始終與絲網(wǎng)印版和基片呈線性接觸，接觸線隨刮刀移動而移動，從而完成印刷行程。

八、快速燒結(jié)

經(jīng)過絲網(wǎng)印刷后的硅片，不能直接使用，需經(jīng)燒結(jié)爐快速燒結(jié)，將有機樹脂粘合劑燃燒掉，剩下幾乎純粹的、由于玻璃質(zhì)作用而密合在硅片上的銀電極。當(dāng)銀電極和晶體硅在溫度達到共晶溫度時，晶體硅原子以一定的比例融入到熔融的銀電極材料中去，從而形成上下電極的歐姆接觸，提高電池片的開路電壓和填充因子兩個關(guān)鍵參數(shù)，使其具有電阻特性，以提高電池片的轉(zhuǎn)換效率。

燒結(jié)爐分為預(yù)燒結(jié)、燒結(jié)、降溫冷卻三個階段。預(yù)燒結(jié)階段目的是使?jié){料中的高分子粘合劑分解、燃燒掉，此階段溫度慢慢上升;燒結(jié)階段中燒結(jié)體內(nèi)完成各種物理化學(xué)反應(yīng)，形成電阻膜結(jié)構(gòu)，使其真正具有電阻特性，該階段溫度達到峰值;降溫冷卻階段，玻璃冷卻硬化并凝固，使電阻膜結(jié)構(gòu)固定地粘附于基片上。

九、外圍設(shè)備

在電池片生產(chǎn)過程中，還需要供電、動力、給水、排水、暖通、真空、特汽等外圍設(shè)施。消防和環(huán)保設(shè)備對于保證安全和持續(xù)發(fā)展也顯得尤為重要。一條年產(chǎn)50MW能力的太陽能電池片生產(chǎn)線，僅工藝和動力設(shè)備用電功率就在1800KW左右。工藝純水的用量在每小時15噸左右，水質(zhì)要求達到中國電子級水GB/T11446.1-1997中EW-1級技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。工藝?yán)鋮s水用量也在每小時15噸左右，水質(zhì)中微粒粒徑不宜大于10微米，供水溫度宜在15-20℃。真空排氣量在300M3/H左右。同時，還需要大約氮氣儲罐20立方米，氧氣儲罐10立方米?？紤]到特殊氣體如硅烷的安全因素，還需要單獨設(shè)置一個特氣間，以絕對保證生產(chǎn)安全。另外，硅烷燃燒塔、污水處理站等也是電池片生產(chǎn)的必備設(shè)施。

一種筒節(jié)斜底罐車罐體的制造工藝專利目的

《一種筒節(jié)斜底罐車罐體的制造工藝》的目的在于提供一種筒節(jié)斜底罐車罐體的制造工藝，其解決了背景技術(shù)中罐體整體成形質(zhì)量差，切割質(zhì)量差，焊接質(zhì)量不易保證的技術(shù)問題。

一種筒節(jié)斜底罐車罐體的制造工藝技術(shù)方案

一種筒節(jié)斜底罐車的制造工藝，其特征在于，該制造工藝包括以下步驟：

1）滾制筒節(jié)圓錐體

1.1）取兩張正圓錐展開的板料，分別用滾圓機滾制彎曲成型，再對筒節(jié)縱縫焊接，得第一節(jié)圓錐臺形筒節(jié)和第二節(jié)圓錐臺形筒節(jié)[0014]所述第一、第二圓錐臺形筒節(jié)的圓錐體均為正圓錐體，其斜度相同，所述第二圓錐臺形筒節(jié)的圓錐臺體的頂面第一圓錐臺形筒節(jié)的圓錐臺體的底面的直徑相同；

1.2）取一張正圓錐斜截展開的板料，用滾圓機滾制彎曲成型，再對筒節(jié)縱縫焊接，得第三直角斜錐體筒節(jié)；

所述第三直角斜錐體筒節(jié)的圓錐體的頂面與第二圓錐臺形筒節(jié)的圓錐體的底面直徑相同；

2）組對筒節(jié)圓錐體

2.1）先把第一圓錐臺形筒節(jié)圓錐臺體的頂面與一個罐體封頭用筒節(jié)組對裝置組對，并使第一圓錐臺形筒節(jié)圓錐臺體的中心線與罐體封頭的中心線重合，再對內(nèi)、外縱環(huán)縫焊接；

2.2）再把第一圓錐臺形筒節(jié)圓錐體的底面與第二圓錐臺形筒節(jié)圓錐體的頂面用筒節(jié)組對裝置組對，并使第一圓錐臺形筒節(jié)圓錐體的中心線與第二圓錐臺形筒節(jié)圓錐體的中心線重合，再對內(nèi)、外縱環(huán)縫焊接；

2.3）最后再把第二圓錐臺形筒節(jié)圓錐體的底面與第三直角斜錐體筒節(jié)圓錐體的頂面用筒節(jié)組對裝置組對，并使第二圓錐臺形筒節(jié)圓錐體的中心線與第三直角斜錐筒節(jié)圓錐體的中心線重合，再對內(nèi)、外縱環(huán)縫焊接，得一個半罐體；

3）形成罐體

將兩個半罐體的第三筒節(jié)圓錐體的底面用固定對口機組對，并使兩個半罐體的中心線重合，再對內(nèi)、外縱環(huán)縫焊接，形成罐體。

上述步驟2）中還包括筒節(jié)圓錐體定位步驟，其中筒節(jié)圓錐體定位步驟具體包括：

1）筒節(jié)圓錐體縱向定位

筒節(jié)圓錐體按順序由生產(chǎn)線傳送到組對工位，并將需要組對的筒節(jié)圓錐體在傳輸線和側(cè)向?qū)к壍淖饔孟路謩e傳送到筒節(jié)組對裝置的兩側(cè)，用筒節(jié)組對裝置附帶的定位裝置實現(xiàn)縱向定位；

2）筒節(jié)圓錐體水平定位

啟動可升降的滾輪架，利用滾輪架的升降，調(diào)節(jié)筒節(jié)圓錐體使筒節(jié)成正圓錐臺狀，使筒節(jié)圓錐臺體中心線水平，實現(xiàn)水平定位；

3）筒節(jié)圓錐體環(huán)向定位

利用滾輪架的旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)筒節(jié)圓錐體，使筒節(jié)組對裝置兩側(cè)的筒節(jié)環(huán)向處于所需位置，實現(xiàn)環(huán)向定位；

4）筒節(jié)圓錐臺體端面與筒節(jié)組對裝置中心定位利用對口機的升降功能，使筒節(jié)組對裝置的中心與筒節(jié)圓錐體中心重合，實現(xiàn)中心定位；

5）筒節(jié)圓錐體徑向、軸向定位

利用筒節(jié)組對裝置的環(huán)向夾緊、軸向拉近機構(gòu)完成兩筒節(jié)的夾緊、拉近，實現(xiàn)組對。

上述內(nèi)、外縱環(huán)縫焊接是利用筒節(jié)組對裝置旋轉(zhuǎn)完成內(nèi)、外縱環(huán)縫焊接。

上述筒節(jié)組對裝置可為對口機。

上述筒節(jié)組對裝置的軸向拉近機構(gòu)具體是液壓夾緊拉近裝置。

上述內(nèi)、外縱環(huán)縫焊接是組對后焊接。

上述焊接采用埋弧自動焊的焊接方式。

一種筒節(jié)斜底罐車罐體的制造工藝改善效果

1）所生產(chǎn)的斜底罐罐體完全符合設(shè)計要求，從根本上消除了因工藝方法產(chǎn)生的斜底罐體存在的質(zhì)量缺陷。

2）筒節(jié)環(huán)縫焊接時同時進行內(nèi)外環(huán)縫焊接提高效率30％，筒節(jié)成型焊接采用單面焊雙面成型工藝提高效率50％。

3）筒節(jié)環(huán)縫組對采用外箍組對方式精度達到2毫米，焊縫成型質(zhì)量可靠，操作方便靈活、適應(yīng)性強。

《一種筒節(jié)斜底罐車罐體的制造工藝》涉及一種鐵道罐車罐體的制造工藝，具體涉及一種筒節(jié)斜底罐車罐體的制造工藝。